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XYZR4軸ステージシステム-XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211
XYZR4軸ステージシステム-株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社では、お客様から特に好評が高い代表的な多軸システムをシリーズ化しました。これらのシステムをベースに更にステージを追加することも可能です。

■XYZR4軸ステージシステム

SLCシリーズ及びCLSシリーズを使ったリニアXYZ3軸ステージに回転R1軸ステージを搭載したシステムです。

  • シリーズ

    XYZR4軸ステージシステム

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XYZR4軸ステージシステム 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動距離 使用ステージ 耐荷重 外形 (ベースプレート含む) 外形 (ステージのみ) 分解能 (Closed loop時)
XYZR4軸ステージシステム-品番-XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211

XYZR-XYZ-CLS3232-R-SRP3211

要見積もり

X=21mm, Y=21mm, Z=21mm, R=360°

XYZ:CLS-3232, R:SR-3211

3.3N

79x65x70mm

62.5x45.5x65mm

1nm (Sセンサ)

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県

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