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従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージ ピエゾスキャナーステージ-PLF3232-x.60
従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージ ピエゾスキャナーステージ-株式会社フィジックステクノロジー

従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージ ピエゾスキャナーステージ
株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社は、従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージSMARFLEXシリーズをラインアップに取り揃えました。小型ながらフィードバックセンサを内臓していますのでクローズドループ制御が可能で高分解能な位置決めが可能です。また水平ステージと垂直ステージを取り揃えており、非磁性などのオプションにも対応することができます。

■PLF3232-x.60

移動範囲が60μmの水平軸ピエゾステージです。サイズは32x32x12mmとコンパクトです。

■PLF3232-z.60

移動範囲が60μmの垂直軸ピエゾステージです。サイズは32x32x15mmとコンパクトです。

■PLF5252-x.200

水平軸ピエゾステージです。サイズは52x52x15mmながら移動範囲は200μmです。

■PLF3232-xy.60

S水平2軸のピエゾステージです。32x32x20mmと軽量・コンパクトな2軸ステージです。

  • シリーズ

    従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージ ピエゾスキャナーステージ

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従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージ ピエゾスキャナーステージ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 軸方向 移動距離 耐荷重 外形 重量
従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージ ピエゾスキャナーステージ-品番-PLF3232-x.60

PLF3232-x.60

要見積もり

水平軸

60μm

5N

32x32x12mm

30g

フィルターに該当する他製品

ピエゾステージの中で同じ条件の製品
移動範囲: 50 - 100mm

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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