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最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ-CHS-3232-1D-5
最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ-株式会社フィジックステクノロジー

最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ
株式会社フィジックステクノロジー

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SmarAct社では、最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用のCHS/SHLシリーズをラインアップに追加しました。CHL/SHLシリーズは、コンパクトな設計を維持しながら、独立したガイドレールとフィードバックセンサによる制御により高い分解能での動作を行うことができます。

■CHSシリーズ

・CHS-3232-1D-5は、高耐荷重でありながらコンパクトなZ軸ステージです。 ・CHS-5237-1D-10は、分離型ドライブモジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。 ・CHS-9257-1D-15は、長ストロークなZ軸ステージです。

  • シリーズ

    最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ

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最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動距離 最大耐荷重 外形 重量 最大速度 分解能 (Closed loop時) 繰返し精度 (Closed loop時)
最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ-品番-CHS-3232-1D-5

CHS-3232-1D-5

要見積もり

5mm

5N

32x32x32mm

100g

5mm/s

1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ)

±40nm

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最大速度: 1 - 5mm/秒

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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