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シリーズ
最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用 分離型ドライブモジュールを搭載 Z軸ステージ CHSシリーズ取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
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ピエゾステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動距離 | 最大耐荷重 | 外形 | 重量 | 最大速度 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
CHS-3232-1D-5 |
要見積もり |
5mm |
5N |
32x32x32mm |
100g |
5mm/s |
1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ) |
±40nm |
ピエゾステージの中で同じ条件の製品
最大速度: 1 - 5mm/秒
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000返答率
100.0%
返答時間
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