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光学ベンチとキャリアで構成 リニアステージ CLLシリーズ CLL42-CLL42
光学ベンチとキャリアで構成 リニアステージ CLLシリーズ CLL42-株式会社フィジックステクノロジー

光学ベンチとキャリアで構成 リニアステージ CLLシリーズ CLL42
株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社のリニアステージは、コンパクトでありながらフィードバックセンサを内蔵しており、長ストロークの駆動距離と高分解能を持ち合わせています。ストロークに応じて異なるモデルを用意しております。

■CLLシリーズ

CLLシリーズは、光学ベンチとキャリアで構成されています。Stick-Slipドライブはキャリアに内蔵していますので、1本の光学ベンチに複数のキャリアを配置して、電動化された光学ベンチセットアップとしてご使用いただくことが可能です。幅42mmのレールとキャリアで構成され、最長619mmの移動が可能です。エンドストップや除振台の固定穴に適合したアダプタなどのオプションも充実しています。

  • シリーズ

    光学ベンチとキャリアで構成 リニアステージ CLLシリーズ CLL42

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光学ベンチとキャリアで構成 リニアステージ CLLシリーズ CLL42 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動距離 レール長 耐荷重 推力 キャリア外形 最大速度 分解能 (Closed loop時) 繰返し精度 (Closed loop時)
光学ベンチとキャリアで構成 リニアステージ CLLシリーズ CLL42-品番-CLL42

CLL42

要見積もり

99~619mm

160~680mm

30N

水平方向:5N

60x16mm (オープンループ用)

15mm/s

1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ)

±100nm

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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