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シリーズ
高い安定性と高精度に優れ、最大123mmまでの移動距離 リニアステージ SLC-24シリーズ取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
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ピエゾステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動距離 | 推力 | 耐荷重 | 外形 | 重量 | 最大速度 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SLC-2430 |
要見積もり |
16mm |
水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
30N |
30x24x10.5mm |
36g |
20mm/s |
1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ) |
±40nm |
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000返答率
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