ピエゾ駆動ステージ 5軸ステージ PENTOR
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この製品について

■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
・最大1,500μmのロングトラベル達成
・クローズドループオプション
・真空／極低温対応可能

piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。

高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1,500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■5軸ステージ PENTOR17mm径の中心穴付き5軸傾きステージです。移動量は X, Y, Z軸で 100μm、直交する2つの傾き調整軸が ±2mrad です。X, Y, Z軸動作は湾曲ヒンジ機構によるもので、高い平行度が得られます。各軸にはメカニカルプリロードが搭載され、ダイナミクス・アプリケーションに最適です。また温度変化に強く、傾き角度が周辺温度に影響されません。

硬性湾曲ヒンジの主要な部品はステンレス製、トップ／ボトムプレートはアルマイト製です。オプションとして、ひずみゲージ測定機構を搭載できます。
・X, Y, Z軸移動量：100μm
・傾き軸 (2軸) 移動量：±2mrad
・中心穴付き：17mm径
・プリロード内蔵
・機械的遊びのない高い平行度
・測定機構搭載オプション