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ピエゾ駆動ステージ Z軸ステージ PZシリーズ-PZ
ピエゾ駆動ステージ Z軸ステージ PZシリーズ-株式会社日本レーザー

ピエゾ駆動ステージ Z軸ステージ PZシリーズ
株式会社日本レーザー

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■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転 ・最大1,500μmのロングトラベル達成 ・クローズドループオプション ・真空／極低温対応可能 piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。 高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1,500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■Z軸ステージ PZシリーズ

1nm未満の高い分解能を特長とするハイダイナミックレンジのZ軸ステージです。標準的なPZシリーズはトップ／ボトムプレート付き、PZ OEM 及び PZ D12 シリーズはユーザーセットアップへの組込みを意図したプレート無のデザインになっています。 ・移動量： 8～400μm ・共振周波数 最高 3kHz ・分解能 (シングルステップ) ：0.02nm ・センサ／真空オプション有 ・高いZ軸平行度 ・ドリフトやヒステリシスのない高い再現性

  • シリーズ

    ピエゾ駆動ステージ Z軸ステージ PZシリーズ

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ピエゾ駆動ステージ Z軸ステージ PZシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 可動軸 移動量
ピエゾ駆動ステージ Z軸ステージ PZシリーズ-品番-PZ

PZ

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株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100％出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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