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ピエゾ駆動ステージ X軸ステージ PX, PU シリーズ-PX
ピエゾ駆動ステージ X軸ステージ PX, PU シリーズ-株式会社日本レーザー

ピエゾ駆動ステージ X軸ステージ PX, PU シリーズ
株式会社日本レーザー

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■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転 ・最大1,500μmのロングトラベル達成 ・クローズドループオプション ・真空／極低温対応可能 piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。 高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■X軸ステージ PX, PUシリーズ

トップ／ボトムプレート付きのPXシリーズと、プレートのないブロックアクチュエータ PUシリーズの2シリーズがございます。 ・移動量： 38～1,500μm (PX) , 40～100μm ・サイズ： 25×25～78x34mm2 (PX) ・PX： センサ／真空オプション有 ・PU： 縦／横取付可能 ・ミリ秒の高速セッティング ・優れた長時間位置安定性

  • シリーズ

    ピエゾ駆動ステージ X軸ステージ PX, PU シリーズ

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ピエゾ駆動ステージ X軸ステージ PX, PU シリーズ 品番2件

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