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XM-Sシリーズ 超精密リニアモータステージ XMS50-S-XMS50-S
XM-Sシリーズ 超精密リニアモータステージ XMS50-S-株式会社日本レーザー

XM-Sシリーズ 超精密リニアモータステージ XMS50-S
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■特徴

・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガラススケールエンコーダが80nmの再現性で正確な位置をフィードバック ・熱の発生を最小限に抑える超大型で高効率のリニアモータ ・超静音のアンチクリープ式クロスローラベアリングにより、ケージの移動を必要とせずにリップルなしのモーションを実現

  • シリーズ

    XM-Sシリーズ 超精密リニアモータステージ XMS50-S

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