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メディアおよび基板製造に最適なAFM Park NX-HDM取扱企業
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AFM (原子間力顕微鏡) の製品61点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動Zステージ | XYスキャナレンジ | XYスキャナ分解能 | ADC | DAC | 床振動ノイズ | 設備条件 室温 (待機温度) | 設備条件 室温 (稼働中) | 設備条件 湿度 | アクースティック エンクロージャー | 制御キャビネット | 電動フォーカス ステージ | COGNEXパターン認識 | 最大スキャンサイズ | 音響ノイズ | 総合消費電力 | 試料の厚さ許容範囲 | Zスキャナレンジ | 排気系 | グラウド抵抗値 | 全Zスキャンレンジ | Zスキャナ分解能 | 床振動レベル | 電源 | システムフロアスペース | 天井高 | オペレータ作業スペース |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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NX-HDM |
要見積もり |
駆動範囲: 最大150mm×150mm、再現性2μm |
Z駆動範囲25mm、分解能0.1μm、再現性<1μm |
100µm×100µm |
0.095nm (20ビット位置制御) |
18チャンネル、4高速 ADCチャンネル (64MSPS) 、24ビット ADC (X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー) |
17チャンネル、2高速 DAC チャンネル (64 MSPS) 、20ビット DAC (X、Y及びZスキャナ ポジションセンサ) |
<0.5 μm/s (10Hz~200Hzw/アクティブ防振台システム) |
10℃~40℃ |
18℃~24℃ |
30%to60% (not condensing) |
880 (w) ×980 (d) ×1,460 (h) 、620kg approx. (incl. basic NX-HDM System) |
600 (w) ×900 (d) ×1,600 (h) 、170kg approx. (incl. controllers) |
直上光学、Z駆動範囲15mm |
パターンアライメント分解能: 1/4ピクセル |
4,096x4,096ピクセル |
65dB以下、>20dB低減 (アクースティックエンクロージャーにより) |
2KW (公称値) |
最大20mm |
15µm |
真空 : -60kPa |
100オーム以下 |
Zクリアランス<2nm |
0.01nm |
VC-D基準 (6μm/sec) |
100/120V/ 208~240V、単相、15A (最大) |
1,720mm (幅) ×920mm (奥行) |
2,000mm以上 |
2,400mm (幅) ×2,450mm (奥行) ,最小 |
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