メディアおよび基板製造に最適なAFM Park NX-HDM
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この製品について
■ハイスループット、自動欠陥レビュー
ナノスケールの欠陥を特定する作業は、メディアやフラットなサブストレートを扱うエンジニアにとって非常に時間のかかるプロセスです。Park NX-HDMは、自動化された欠陥の識別、スキャン、分析により、欠陥レビュープロセスを大幅に高速化する原子間力顕微鏡検査システムです。 Park NX-HDMは、様々な光学検査ツールと直接リンクするため、自動欠陥レビューの処理能力が大幅に向上します。■サブÅの表面粗さ測定
ますます縮小するデバイスの寸法に対応するために、業界では超フラットなメディアとサブストレートの需要が高まってきています。Park NX-HDMは、何度スキャンを行っても、スキャンごとに正確なサブオングストロームの表面粗さ測定を可能にします。 業界最小のノイズフロアと独自の真のノンコンタクト™技術を持つPark NX-HDMは、とともに、市場で最も正確な表面粗さ測定用のAFMです。-
シリーズ
メディアおよび基板製造に最適なAFM Park NX-HDM
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取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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メディアおよび基板製造に最適なAFM Park NX-HDM 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動Zステージ | XYスキャナレンジ | XYスキャナ分解能 | ADC | DAC | 床振動ノイズ | 設備条件 室温 (待機温度) | 設備条件 室温 (稼働中) | 設備条件 湿度 | アクースティック エンクロージャー | 制御キャビネット | 電動フォーカス ステージ | COGNEXパターン認識 | 最大スキャンサイズ | 音響ノイズ | 総合消費電力 | 試料の厚さ許容範囲 | Zスキャナレンジ | 排気系 | グラウド抵抗値 | 全Zスキャンレンジ | Zスキャナ分解能 | 床振動レベル | 電源 | システムフロアスペース | 天井高 | オペレータ作業スペース |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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NX-HDM |
要見積もり | 駆動範囲: 最大150mm×150mm、再現性2μm | Z駆動範囲25mm、分解能0.1μm、再現性<1μm | 100µm×100µm | 0.095nm (20ビット位置制御) | 18チャンネル、4高速 ADCチャンネル (64MSPS) 、24ビット ADC (X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー) | 17チャンネル、2高速 DAC チャンネル (64 MSPS) 、20ビット DAC (X、Y及びZスキャナ ポジションセンサ) | <0.5 μm/s (10Hz~200Hzw/アクティブ防振台システム) | 10℃~40℃ | 18℃~24℃ | 30%to60% (not condensing) | 880 (w) ×980 (d) ×1,460 (h) 、620kg approx. (incl. basic NX-HDM System) | 600 (w) ×900 (d) ×1,600 (h) 、170kg approx. (incl. controllers) | 直上光学、Z駆動範囲15mm | パターンアライメント分解能: 1/4ピクセル | 4,096x4,096ピクセル | 65dB以下、>20dB低減 (アクースティックエンクロージャーにより) | 2KW (公称値) | 最大20mm | 15µm | 真空 : -60kPa | 100オーム以下 | Zクリアランス<2nm | 0.01nm | VC-D基準 (6μm/sec) | 100/120V/ 208~240V、単相、15A (最大) | 1,720mm (幅) ×920mm (奥行) | 2,000mm以上 | 2,400mm (幅) ×2,450mm (奥行) ,最小 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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