300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP ブルカージャパン株式会社
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この製品について
■300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡)
InSight AFP AAFMは、300mmウェハに対応します。深さのみならず側壁の形状が測定可能で、これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA (Side Wall Angle) 、LWR/LER (Line Width Roughness/Line Edge Roughness) 、SWR (Side Wall Roughness) といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより45nm以下の狭い線幅にも対応可能です。 また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。-
シリーズ
300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP
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取扱企業
ブルカージャパン株式会社
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300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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InSight AFP |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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