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高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM Park NX-3DM取扱企業
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AFM (原子間力顕微鏡) の製品61点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動フォーカスステージ | 電動角度レンジ | 電動Zステージ | Zスキャナ | COGNEXパターン認識 | XYスキャナ | XYスキャナ分解能 | 設備条件 室温 (待機時) | 設備条件 室温 (稼働時) | 設備条件 湿度 | 設備条件 床振動レベル | 設備条件 音響ノイズ | 設備条件 排気系 | 設備条件 電源 | 設備条件 総合消費電力 | 設備条件 グラウンド抵抗 | 200mmシステム | 200mmシステム 天井高 | 200mmシステム 作業スペース | 300mmシステム | 300mmシステム 天井高 | 300mmシステム 作業スペース |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
NX-3DM |
要見積もり |
200mm：最大275mmx200mmまで移動、分解能：0.5㎛/300 mm：最大400mmx300mmまで移動、分解能：0.5㎛<再現性：<1㎛ |
Z移動距離：9mm、直上光学系 |
19度と+19度、-38度と+38度、角度再現性：<0.5度 |
Z移動距離：27mm、分解能：0.08㎛、再現性：<1㎛ |
Zスキャナレンジ:15 ㎛ (ラージモード) 、2㎛ (スモールモード) /Zスキャナ分解能:0.016nm (ラージモード) 、0.002nm (スモールモード) ほか |
パターンアライン分解能1/4ピクセル |
クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ、100µm×100µm (ラージモード) 、50µm×50µm (ミディアムモード) 、10µm×10µm (スモールモード) |
0.28nm (ラージモード) 、0.03nm (スモールモード) |
10℃~40℃ |
18℃~24℃ |
30％~60％ (コンデンシングしない場合) |
VC-D (6μm/秒) |
65dB以下 |
真空 : -80kPa、CDA (またはN2) : 0.7MPa |
208V-240V、単相、15A (最大) |
2KW (公称) |
100オーム以下 |
1,500mm (幅) ×980mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,020 kg (制御キャビネット付き) ほか |
2,500mm以上 |
3,300mm (幅) x2,300mm (奥) , 最小 |
1,840mm (幅) ×1,170mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,320 kg (制御キャビネット付き) ほか |
2,500mm以上 |
4,540mm (幅) x2,850mm (奥) , 最小 |
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