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ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS-SENSUS CS
ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS-ブルカージャパン株式会社

ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS
ブルカージャパン株式会社

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この製品について

■ノッチやベベルの欠陥を自動で検出　X線トポグラフィ―装置

Bruker JV Sensusはファブ用X線トポグラフィー装置です。近年のシリコン基板に対する深堀トレンチ応力をかけるプロセスが増えたことにより、プロセス中に生じる目に見えないクラックを測定するニーズは非常に高まっています。特にノッチやベベル等のウエハ内の不均質な部分には欠陥が生じやすく本装置が提供するゼロ・エッジ・エクスクルージョンの測定により分析が可能となります。 X線を用いるため金属パターンがある場合でも透過して測定が可能です。高速オプション (600f) を用いると24 WPHの高いスループットが達成可能です。

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    ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS

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ブルカージャパン株式会社

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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