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AutoAFM (大型自動原子間力顕微鏡) です。

■300mmウェハ対応　大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡)

InSight AFP AAFMは、300mmウェハに対応します。深さのみならず側壁の形状が測定可能で、これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA (Side Wall Angle) 、LWR/LER (Line Width Roughness/Line Edge Roughness) 、SWR (Side Wall Roughness) といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより45nm以下の狭い線幅にも対応可能です。 また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

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    300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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