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ロボット・制御装置多様なニーズに応える最先端のラインアップウェハ搬送ロボット-株式会社ダイヘン

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ロボット・制御装置多様なニーズに応える最先端のラインアップウェハ搬送ロボット-UT-AFX/W3000NM

ロボット・制御装置多様なニーズに応える最先端のラインアップウェハ搬送ロボット
株式会社ダイヘン

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この製品について

コンパクトなスペースで、より高効率で、高品質な溶接を。シンプル＆スリムアームのスタンダード機から、溶接の常識を覆す最先端の7軸ロボットまで。幅広いラインアップで、お客様の多様なニーズに応えます。

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
ロボット・制御装置多様なニーズに応える最先端のラインアップウェハ搬送ロボット

取扱企業
株式会社ダイヘン

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ロボット・制御装置多様なニーズに応える最先端のラインアップウェハ搬送ロボット品番10件

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	商品画像	品番	価格 (税抜)	構造垂直多関節形	軸数 6	可搬重量 0.5kg/arm (ハンド重量を含む) 1.0kg/arm (ハンドを含む) (Including E/E)	本体質量 74kg 85kg 29KG 160kg 29kg (35kg) 1kg/2N･m 4kg/8N･m 30kg	クリーン度クランプ仕様：ISO Class 3 (ISO-14644) 吸着仕様：ISO Class 1 (ISO14644) ISO Class 3 (ISO-14644) ISO Class 1 ISO Class 1 (ISO-14644)	ロボット形状 4軸円筒座標形 2軸円筒座標型：2 axis Cylindrical Coordinate 4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate 2 (3) 軸円筒座標形 2 (3) axis Cylindrical Coordinate 4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate 3-axis Cylindrical Coordinate	動作範囲 X1, X2-axis 670mm 500mm 850mm 620mm 510mm 720mm 770mm	動作範囲 θ-axis 330° 340° Endless 346°	動作範囲 Z-axis 50mm 300mm 20mm 300mm or 450mm	最大動作速度 X1, X2-axis 120°/sec. 1,800mm/sec. 380°/sec. 948mm/sec. 1,339mm/sec. 1,180mm/sec. 800mm/sec. 1,000mm/sec	最大動作速度 θ-axis 100°/sec. 360°/sec. 300°/sec. 200°/sec.	最大動作速度 Z-axis 25mm/sec. 500mm/sec. 185mm/sec. 121mm/sec. 250mm/sec.	動作時間 X1, X2-axis 1.5sec./670mm 0.5sec/mm 2.0sec / 850mm 0.6sec./620mm 1.2sec./510mm 1.2sec./720mm 1.7sec./770mm 1.7sec./500mm 1.0sec/500mm	動作時間 θ-axis 2.4sec./180° 1.2sec/340° 2.5sec / 180° 0.7sec./90° 2.4sec./340° 2.2sec./340°	動作時間 Z-axis 1.6sec./50mm 0.8sec/300mm 0.25sec./20mm 1.0sec./20mm 1.6sec./300mm 2.2sec./450mm 1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm	繰返し位置精度 XY direction XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each φ0.02mm (3σ) XYZ direction ±0.1mm each 1.7sec./180°	可搬質量 2.5kg 0.5kg/arm (ハンド質量を含む including E/E) 1.0kg 2kg 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E)	設置環境温度 15-40℃ (Atm. side) /15-80℃ (Vacuum Seal Unit) 32kg 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム) 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム表面) 10-40℃ (Atmosphere side) /0-80℃ (Vacuum Seal Unit) 0-40℃ 5-45℃	設置環境湿度 20-70%, No condensation 70% or less, No condensation 20-70% (結露なきこと)(No condensation)	設置環境圧力 Atmospheric pressure ~ 10-6Pa Atmospheric pressure ~ 10-7Pa	分類 Standard Type Long Arm Type High Payload Type	必要諸源真空 0.4-0.7MPa, 200L/min -80kPa, 10NL/min -80kPaG or less, 10NL/min	繰返し位置精度 Z direction XYZ±0.1mm XYZ±0.1mm, R±0.1°	動作範囲 R-axis 182°	最大動作速度 R-axis 180°/sec.	必要諸源 0.4-0.7MPa, 200L/min -80kPaG or less, 10NL/min
		UT-VDW3000HS	要見積もり	-	-	-	160kg	ISO Class 1	4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate	620mm	346°	50mm	380°/sec.	300°/sec.	185mm/sec.	0.6sec./620mm	0.7sec./90°	0.25sec./20mm	XYZ direction: ±0.1mm each (3σ)	2kg	5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム表面)	20-70%, No condensation	Atmospheric pressure ~ 10-6Pa	-	-	-	-	-	-