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ウエハレベル発光素子光学特性測定装置-ウエハレベル発光素子光学特性測定装置
ウエハレベル発光素子光学特性測定装置-シナジーオプトシステムズ株式会社

ウエハレベル発光素子光学特性測定装置
シナジーオプトシステムズ株式会社



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この製品について

■概要

ウエハレベル発光素子特性測定装置は、VCSEL等各種発光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。VCSELの特性計測に必要な電気的特性測定のほか、発光ビームプロファイル計測・FFP計測 (放射角度分布計測) ・IVL計測・偏光計測等の光学的な特性測定をウエハレベルで行うことが可能です。 セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用プローバシステムと、当社のプローバ用高機能光計測用光学系M-Scope I/PFW、FFP計測光学系M-Scope type F、IVL計測モジュールPMD002/IVL、偏光測定モジュールPMD002/POLとSMU・光スペクトラムアナライザ等の各種測定器を組み合わせて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・データ収集を行います。また、セミオートプローバとの組み合わせで、量産デバイスの自動測定にも対応可能です。

■特長

・マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、VCSEL等の発光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能 ・フォームファクター社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、各種測定の自動化・高速化・省力化を実現 ・当社製プローバ用光計測用光学系M-Scope type I/PFWやFFP計測光学系M-Scope type F等各種M-Scopeシリーズ光学系、測光モジュールPMD002/IVL・PMD002/POL を搭載可能。測定項目にあわせた光学系セレクションとシステムアップが可能。 ・当社製光計測・解析ソフトウエアOptometrics Customized Version for LDを搭載。セミオートプローバの制御・連動による解析の自動化、当社光学系により取得した光学特性データや各種測定器からのデータの統合収集管理、測定品種や測定レシピの管理を一元化可能。個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能。

■主な応用

VCSEL等の発光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析。I-V-L特性、発光ビームプロファイル (NFP・FFP) 解析、偏光特性、発光スペクトル解析等

  • シリーズ

    ウエハレベル発光素子光学特性測定装置

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ウエハレベル発光素子光学特性測定装置 品番1件

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使用用途

#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査

検査対象

ウエハ検査装置 チップ検査装置 パッケージ検査装置

検査方式

光学式検査装置 電気式検査装置

検出精度

マクロ検査装置 ミクロ検査装置 ナノスケール検査装置 自動検査装置

搬送方式

ステージ式検査装置 トレイ式検査装置 ローダアンローダ式検査装置

処理能力 秒/個

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50

供給方式

トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダ

コンタクト

テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン

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