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マイクロ波CVD装置 SDM-2-SDM-2
マイクロ波CVD装置 SDM-2-株式会社サンバック

マイクロ波CVD装置 SDM-2
株式会社サンバック

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この製品について

マイクロ波CVD装置SDM-2はマイクロ波CVDによるダイヤモンド薄膜の試験製造装置。シリコンウエハ上に直径10mm程度、厚み10μ以上のダイヤモンド膜を成膜できます。

  • シリーズ

    マイクロ波CVD装置 SDM-2

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マイクロ波CVD装置 SDM-2 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) チャンバー排気系 ガス導入系 エアー導入系 水挿入系 電源系 計測系 基板系
マイクロ波CVD装置 SDM-2-品番-SDM-2

SDM-2

要見積もり

チャンバー・ロータリーポンプ・排気コントロールシステム・排気バルブ・リークバルブ・配管

マスフロー・フローメーター・ストップバルブ・フィルター・チェックバルブ・コントロールバルブ継手・配管・プレッシャースイッチ

ソレノイドバルブ・レギュレーター・圧力スイッチ・継手・配管

マニホールド・フローチェッカー・バルブ・継手・チューブ

マイクロ波電源 2.45GHz/3kW

ピラニ真空計

ヒーター基板 (空冷/水冷付) ・ヒーターコントローラー・上下機構・測長

フィルターから探す

CVD装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体製造 #太陽電池製造 #MEMS製造 #ナノ材料生成 #ダイヤモンド生成 #絶縁膜形成 #保護膜形成 #透明導電膜形成 #カーボンナノチューブ #高硬度薄膜 #センサー #電子デバイス

成膜方式

熱CVD APCVD PECVD MOCVD HWCVD

反応器構造

縦型バッチ 横型バッチ シングルウェハ シャワーヘッド型 回転円盤型

加熱方式

ホットウォール コールドウォール ランプ加熱 誘導加熱 マイクロ波加熱 抵抗加熱

原料供給方式

直接ガス供給 液体気化供給 固体昇華供給 バブリング供給

成膜温度 ℃

100 - 300 300 - 500 500 - 1,200

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社サンバックは真空装置のメーカーです。...

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  • 本社所在地: 東京都
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