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超高速分光干渉式厚み計-超高速分光干渉式厚み計 SF-3/200
超高速分光干渉式厚み計-大塚電子株式会社

超高速分光干渉式厚み計
大塚電子株式会社

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この製品について

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度に測定します。

■特長

・非接触、非破壊で厚み測定が可能 ・反射光学系 (片側からのコンタクトで測定が可能) ・高速性 (最速5KHz) 且つリアルタイム評価が可能 ・高い安定性 (繰返し精度 0.01％以下) を実現 ・粗さに強い ・任意距離に対応が可能 ・多層構造に対応 (最大5層) ・NGデータ排除機能を内蔵

■独自の技術

幅広い範囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を実現。大塚電子独自の技術をコンパクトボディに詰め込みました。

■高速対応

移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、工場の生産ラインにも最適です。

■さまざまな表面状態のサンプルに対応

約φ20μmという微小スポットにより、さまざまな表面状態のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。

■さまざまな環境に対応

最大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

■測定項目

厚み測定 (5層)

■用途

各種の厚膜部材厚み

■オプション

各種距離測定プローブ、電源ユニット (AC用) 、アルミリファレンス、 測定光検出ターゲット、ファイバークリーナー

  • シリーズ

    超高速分光干渉式厚み計

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超高速分光干渉式厚み計 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ シリコン測定厚み範囲 樹脂厚み範囲 最小サンプリング周期 繰り返し精度 測定スポット径 測定距離 光源 解析方法 インターフェイス 電源
超高速分光干渉式厚み計-品番-超高速分光干渉式厚み計 SF-3/200

超高速分光干渉式厚み計 SF-3/200

要見積もり

123 (W) ×224 (D) ×128 (H) mm

6~400μm

10~1,000μm

5kHz (200µsec)

0.01%以下

φ20µm以上

50、80、120、150、200mm

半導体光源 (レーザークラス3B製品)

FFT解析

LAN、I/O入出力端子

DC24V仕様 (AC電源ユニット別売り)

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厚み測定器をフィルターから探すことができます

使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

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この商品の取り扱い会社情報

大塚電子株式会社

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会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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