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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300-GS-300 series
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300-大塚電子株式会社

ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
大塚電子株式会社

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この製品について

パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度2um以下のシステムです。

■特長

・Φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応 ・ウェーハに埋め込んだ配線パターンのパターンアライメントを実現 ・半導体プロセスの高スループット要求に対応 ・ノッチアライメント機能に対応 ・小フットプリント仕様

■測定事例

・TSV埋め込みパターンウェーハの研削後Silicon厚み ・Φ300mmサイズのウェーハ厚み

  • シリーズ

    ロードポート対応膜厚測定システム GS-300

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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ステージ方式 光学系 最大ウェーハサイズ ウェーハ角度補正 パターンアライメント ウェーハ厚み範囲 装置サイズ (W×D×H) mm
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300-品番-GS-300 series

GS-300 series

要見積もり

R-θステージ

同軸顕微ヘッド+IRカメラ

φ300mmのみ

あり

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分光干渉式ウェーハ厚みセンサー仕様に準ずる

500×500×1,680
PC内蔵
(モニター、キーボードサイズは除く)

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

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この商品の取り扱い会社情報

大塚電子株式会社

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会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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