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シリーズ
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300取扱企業
大塚電子株式会社カテゴリ
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厚み測定器の製品231点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ステージ方式 | 光学系 | 最大ウェーハサイズ | ウェーハ角度補正 | パターンアライメント | ウェーハ厚み範囲 | 装置サイズ (W×D×H) mm |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
GS-300 series |
要見積もり |
R-θステージ |
同軸顕微ヘッド+IRカメラ |
φ300mmのみ |
あり |
あり |
分光干渉式ウェーハ厚みセンサー仕様に準ずる |
500×500×1,680 |
厚み測定器をフィルターから探すことができます
使用用途
#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造測定原理
接触式 非接触式 超音波式 渦電流式測定方式
単点式 ラインスキャン式 面スキャン式構造形態
卓上型 ハンディ型 インライン型測定対象
薄膜対応型 厚板対応型測定範囲 mm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000分解能 秒
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000測定精度 mm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1繰り返し精度 μm
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10重量 kg
0 - 1 1 - 10 10 - 500
