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分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3-分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3/200
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3-大塚電子株式会社

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
大塚電子株式会社

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この製品について

ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。

■特長

・光学式により非接触・非破壊での厚み測定が可能 ・高い測定再現性を実現 ・高速でリアルタイムに研磨モニタが可能 ・長いWD (ワークディスタンス) を実現し、機器への組み込みが容易 ・ホスト機器からLANを使用したTCP/IP通信で制御 ・多層厚み測定が可能 ・テンポラリーウェーハ (仮貼り合わせウェーハ) の各層厚み測定が可能

■測定項目

厚み測定 (5層)

■用途

・各種ウェーハ (Silicon、その他化合物ウェーハ) 厚み測定 ・各種 研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込み ・ウェーハ以外の厚膜部材厚み測定

  • シリーズ

    分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3

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分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ シリコン測定厚み範囲 樹脂厚み範囲 最小サンプリング周期 繰り返し精度 測定スポット径 測定距離 光源 解析方法 インターフェイス 電源 オプション
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3-品番-分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3/200

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3/200

要見積もり

123 (W) x224 (D) ×128 (H) mm

6~400µm

10~1,000μm

5kHz (200μsec)

0.01%以下

φ20µm以上

50、80、120、150、200mm

半導体光源 (レーザークラス3B製品)

FFT解析

LAN、I/O入出力端子

DC24V仕様 (AC電源ユニット別売り)

各種距離測定プローブ、電源ユニット (AC用) 、アルミリファレンス、測定光検出ターゲット、ファイバークリーナー

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

大塚電子株式会社

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会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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