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OPTM series 組込みヘッドタイプ-OPTM-H1
OPTM series 組込みヘッドタイプ-大塚電子株式会社

OPTM series 組込みヘッドタイプ
大塚電子株式会社

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この製品について

顕微分光膜厚計OPTM seriesの高精度、微小スポットを生かし、ウェーハのパターン作成後の微小エリア測定など、インラインで膜厚情報を提供します。

■特長

・膜厚測定範囲1nm~92μm (SiO2換算) ・膜厚値の高い繰り返し精度 ・1ポイント1秒以内の高速測定 ・微小スポット (最小Φ3μm) でパターンが狙える ・パターンウェーハの膜厚マッピングに最適 ・パターンアライメント用画像取得が可能

  • シリーズ

    OPTM series 組込みヘッドタイプ

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OPTM series 組込みヘッドタイプ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 波長範囲 膜厚範囲 スポット径 寸法 重量 最大消費電力
OPTM series 組込みヘッドタイプ-品番-OPTM-H1

OPTM-H1

要見積もり

230~800nm

1nm~35µm

φ5、φ10、φ20、φ40

約210×441×423mm
約90×250×190mm

約23kg
約4kg

AC100V±10V 400VA

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測定対象: 薄膜対応型

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厚み測定器をフィルターから探すことができます

使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定原理

接触式 非接触式 超音波式 渦電流式

測定方式

単点式 ラインスキャン式 面スキャン式

構造形態

卓上型 ハンディ型 インライン型

測定対象

薄膜対応型 厚板対応型

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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12.9時間

会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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