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MCPD series インラインフィルム評価システム-MCPD series インラインフィルム評価システム MCPD-9800仕様 (MCPD-9800 2285C)
MCPD series インラインフィルム評価システム-大塚電子株式会社

MCPD series インラインフィルム評価システム
大塚電子株式会社

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この製品について

MCPD seriesインラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。測定可能膜厚範囲は　65nm～92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。 (屈折率1.5の場合) 測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。

■特長

・プロセス中の薄膜高速測定に最適 ・最短露光時間1ms～　※仕様による ・リモート測定に対応 ・膜厚測定範囲65nm～92μm (SiO2換算)

■多点測定ポイント切替対応システム

多点測定ポイント切替対応システムでは、TD方向に予め多分岐ファイバーを任意幅に設置することにより、TD方向の膜厚分布をファイバー駆動させることなく測定することができます。コーティングの条件出しやリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。 検出器やデータ処理システムは1式で、光ファイバーの光路切替により多点測定が可能です。

■トラバースユニット対応システム

トラバースユニット対応システムでは、TD方向にトラバースユニットを駆動することにより、TD方向の膜厚分布を任意幅と任意ピッチで測定することができます。コーティング条件出しやリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。 トラバースユニットの駆動により多点測定を行うため、検出器やデータ処理を複数台用意する必要はありません。

■真空環境下でも多点で反射・透過スペクトル測定が可能

各種フランジに対応した耐真空ファイバーを用いることにより、高真空下で反射・透過スペクトルを測定できます。また、膜厚演算にはベースフィルムの上下動の影響を受けにくく、かつ精度よく薄膜が測定できる大塚電子独自のアルゴリズムを採用することにより、リアルタイムモニターとしてお使いいただけます。

  • シリーズ

    MCPD series インラインフィルム評価システム

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MCPD series インラインフィルム評価システム 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定波長範囲 (nm) 膜厚範囲 膜厚/反射/透過/リタデーション 色測定 スキャン時間 スポット径 ファイバー長
MCPD series インラインフィルム評価システム-品番-MCPD series インラインフィルム評価システム MCPD-9800仕様 (MCPD-9800 2285C)

MCPD series インラインフィルム評価システム MCPD-9800仕様 (MCPD-9800 2285C)

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220~850

65nm~35μm

〇

〇

5ms~20s

φ1.2mm

1m~

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

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大塚電子株式会社

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会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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