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ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ)-大塚電子株式会社

ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ)
大塚電子株式会社

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この製品について

■特長

半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。

■測定原理

分光膜厚測定のパイオニアだから実現できる高精度測定

  • シリーズ

    ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ)

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ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 膜厚範囲 測定幅 測定間隔 装置サイズ (W×D×H) 重量 最大消費電力
ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ)-品番-ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ)

ラインスキャン膜厚計® オフライン (ウェーハ対応タイプ)

要見積もり

0.1~300 μm

最大300mm

50ms~

660×950×1000 mm

約120kg

AC100 V±10% 125VA

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

大塚電子株式会社

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会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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