V-741 高精度XYステージ　高い移動精度と安定性リニアモーター-V-741.136111

V-741 高精度XYステージ　高い移動精度と安定性リニアモーター
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この製品について

■特徴・移動範囲 305mm×305mm (12") 
・0.1µmまでの一方向の再現性
・鉄筋レス三相リニアモーター
・速度 200mm/s まで
・分解能1nmのインクリメンタルリニアエンコーダ
・クロスローラーガイド

■リニアモーターリニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を摩擦なく直接モーションプラットフォームに伝達します。
ドライブは高速および加速度に達します。

アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決めタスクに特に適しています。これにより、低速域でもスムーズな走行が可能となり、同時に高速域でも振動が発生しません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力を自由に設定できます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定非接触光学式エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。その他の移動範囲についてはご要望に応じて承ります。

■クロスローラーガイドクロスローラーガイドでは、ボールガイド内のボールの点接触が硬化ローラーの線接触に置き換えられます。その結果、剛性が大幅に向上し、必要なプリロードが少なくなり、摩擦が軽減され、よりスムーズな走行が可能になります。

クロスローラーガイドは、高い案内精度と耐荷重性も特徴です。力によってガイドされる転動体保持器は、保持器のクリープを防止します。

■応用分野医療業界。レーザー切断。走査。バイオテクノロジー。計測学。AOI (自動光学検査) 。レーザーマーキング。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
V-741 高精度XYステージ　高い移動精度と安定性リニアモーター

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

精密ステージ

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V-741 高精度XYステージ　高い移動精度と安定性リニアモーター品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	移動範囲	統合センサー	設計解像度	センサー信号	最小増分動作	一方向の再現性	双方向再現性	角度誤差 xry (ピッチ)	角度誤差 xrz (ヨー)	角度誤差 yrx (ピッチ)	角度誤差 yrz (ヨー)	直交性	真直度・平面度	速度	無負荷時のX方向の加速度	Y方向の加速度、無負荷	リファレンススイッチとリミットスイッチ	負荷容量	許容トルク θX、θY	θZの許容トルク	ガイド	モーターの種類	動作電圧、公称	動作電圧、最大	ピークフォース	公称力	ピーク電流、RMS	公称電流、RMS	力定数、RMS
	V-741.136111	要見積もり	X、Y	305×305mm	インクリメンタルリニアエンコーダ	0.001μm	Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期	0.02μm	0.1μm	±0.25μm	±70μrad	±50μrad	±60μrad	±50μrad	±96.963μrad	±3μm	200mm/s	3m/s²	9m/s²	二股光電センサー N/C接点 5V NPN	50N	125Nm	125Nm	アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド	鉄筋レス三相リニアモーター	48V	48V	80N	29N	5a	1.5a	19.9

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

駆動方式

手動型電動型空圧型

軸構成

単軸型二軸型三軸型回転型

ガイド方式

クロスローラ型ボールリニア型エアーベアリング型マグレブ型

精度特性

高精度型長ストローク型高剛性型

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーターブラシレスDCモーター DCギアモーター三相リニアモーターピエゾモーター三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド再循環ボールベアリングガイドレバー増幅付き曲げガイドボールガイドエアベアリング

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ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

本社所在地: 神奈川県

V-741 高精度XYステージ　高い移動精度と安定性リニアモーター
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■特徴

■リニアモーター

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

■クロスローラーガイド

■応用分野

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