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P-734 高精度XY軸ピエゾステージ 開口付取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V | Xの直線性誤差 | Yの直線性誤差 | 平坦性 (X方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク) | 平坦性 (Y方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク) | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | ドライブタイプ | Xの電気容量 | Y方向の電気容量 | ガイド | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | 200gの荷重下でのXの共振周波数 | Xの共振周波数、500gの荷重下 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、200gの荷重下 | Y方向の共振周波数、500gの荷重下 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-734.2CD |
要見積もり |
XY |
100μm |
100μm |
110μm |
110μm |
0.03% |
0.03% |
±5nm |
±5nm |
±3μrad |
±3μrad |
±10μrad |
±10μrad |
静電容量式の直接位置測定 |
0.3nm |
0.3nm |
0.2nm |
0.2nm |
ピクマ® |
6.2μF |
6.2μF |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
3N/μm |
3N/μm |
500Hz |
350Hz |
250Hz |
500Hz |
350Hz |
250Hz |
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P-734.2CL |
要見積もり |
XY |
100μm |
100μm |
110μm |
110μm |
0.03% |
0.03% |
±5nm |
±5nm |
±3μrad |
±3μrad |
±10μrad |
±10μrad |
静電容量式の直接位置測定 |
0.3nm |
0.3nm |
0.2nm |
0.2nm |
ピクマ® |
6.2μF |
6.2μF |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
3N/μm |
3N/μm |
500Hz |
350Hz |
250Hz |
500Hz |
350Hz |
250Hz |
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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