P-734 高精度XY軸ピエゾステージ　開口付
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この製品について

■特徴・平坦度5nm、表面分析および走査型顕微鏡に最適
・平行運動学による応答時間の短縮と多軸精度の向上
・移動範囲100μm×100μm
・有効口径56mm×56mm
・容量性位置センサーによる分解能0.3nm

■応用分野・走査型顕微鏡検査
・共焦点顕微鏡
・マスク/ウェハの位置決め
・表面測定技術
・ナノインプリンティング
・マイクロマニピュレーション
・画像処理・安定化
・高い平坦性と動作の直進性を備えたナノポジショニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。
・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。
・1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、および kHz 範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。
・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。
・広い温度範囲で動作します。

■自動構成と迅速なコンポーネント交換・メカとコントローラーを必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
・すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。
・デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラの電源がオンになるたびにこのデータを使用します。

■直接位置測定による最高の精度動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。このため、最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
P-734 高精度XY軸ピエゾステージ　開口付

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

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P-734 高精度XY軸ピエゾステージ　開口付品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X方向の移動範囲	Y方向の移動範囲	X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V	Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V	Xの直線性誤差	Yの直線性誤差	平坦性 (X方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク)	平坦性 (Y方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク)	ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)	ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)	ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	統合センサー	Xでのシステム解像度	Y単位のシステム解像度	X方向の解像度、開ループ	Y方向の解像度、開ループ	ドライブタイプ	Xの電気容量	Y方向の電気容量	ガイド	X方向の剛性	Y方向の剛性	X方向の共振周波数、無負荷	200gの荷重下でのXの共振周波数	Xの共振周波数、500gの荷重下	Y方向の共振周波数、無負荷	Y方向の共振周波数、200gの荷重下	Y方向の共振周波数、500gの荷重下
		P-734.2CD	要見積もり	XY	100μm	100μm	110μm	110μm	0.03%	0.03%	±5nm	±5nm	±3μrad	±3μrad	±10μrad	±10μrad	静電容量式の直接位置測定	0.3nm	0.3nm	0.2nm	0.2nm	ピクマ®	6.2μF	6.2μF	レバー増幅機能付きたわみガイド	3N/μm	3N/μm	500Hz	350Hz	250Hz	500Hz	350Hz	250Hz
		P-734.2CL	要見積もり	XY	100μm	100μm	110μm	110μm	0.03%	0.03%	±5nm	±5nm	±3μrad	±3μrad	±10μrad	±10μrad	静電容量式の直接位置測定	0.3nm	0.3nm	0.2nm	0.2nm	ピクマ®	6.2μF	6.2μF	レバー増幅機能付きたわみガイド	3N/μm	3N/μm	500Hz	350Hz	250Hz	500Hz	350Hz	250Hz