アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー-P-733.2CD

アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴・移動範囲はXおよびYで100µm×100µm
・静電容量センサーによる分解能0.1nm
・ダイレクトドライブを備えた高速バージョン
・真空対応および非磁性バージョンもご要望に応じて提供します
・より高い精度とダイナミクスを実現する平行運動学
・ガイドエラーをアクティブに補正するための並列計測
・遊びゼロの高精度たわみガイドシステム
・透過光アプリケーション用の有効開口50mm×50mm

■応用分野・走査型顕微鏡検査
・共焦点顕微鏡
・マスク/ウェハの位置決め
・表面測定技術
・ナノインプリンティング
・マイクロマニピュレーション
・画像処理・安定化
・高い平坦性と動作の直進性を備えたナノポジショニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されており、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。
・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。
・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。

■自動構成と迅速なコンポーネント交換・メカとコントローラーを必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
・すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。

■直接位置測定による最高の精度・動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。
・最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。

■平行運動学による高ダイナミックな多軸動作・パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。
・最小の質量慣性とすべての軸の同一設計により、高速かつダイナミックでありながら正確な動作が可能になります。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X方向の移動範囲 100μm 30μm	Y方向の移動範囲 100μm 30μm	X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V 115μm 33μm	Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V 115μm 33μm	Xの直線性誤差	Yの直線性誤差	ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ±3μrad ±5μrad	ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ±3μrad ±5μrad	ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	Xにおける再現性	Y方向の再現性	X方向の解像度、開ループ 0.2nm 0.1nm	Y方向の解像度、開ループ 0.2nm 0.1nm	統合センサー	Xでのシステム解像度 0.3nm 0.1nm	Y単位のシステム解像度 0.3nm 0.1nm	ドライブタイプ	Xの電気容量 6μF 6.2μF	Y方向の電気容量 6μF 6.2μF	X方向の剛性 1.5N/μm 20N/μm	Y方向の剛性 1.5N/μm 20N/μm	X方向の共振周波数、無負荷 500Hz 2230Hz	Xの共振周波数、120gの荷重下 370Hz	200gの荷重下でのXの共振周波数 340Hz 1550Hz	Y方向の共振周波数、無負荷 500Hz 2230Hz	Y方向の共振周波数、120gの荷重下 370Hz	Y方向の共振周波数、200gの荷重下 340Hz 1550Hz	X方向の許容押付け力
P-733.2CD	要見積もり	XY	100μm	100μm	115μm	115μm	0.03%	0.03%	±3μrad	±3μrad	±10μrad	±10μrad	< 2nm	< 2nm	0.2nm	0.2nm	静電容量式の間接的な位置測定	0.3nm	0.3nm	ピクマ®	6μF	6μF	1.5N/μm	1.5N/μm	500Hz	370Hz	340Hz	500Hz	370Hz	340Hz	50N
P-733.2CL	要見積もり	XY	100μm	100μm	115μm	115μm	0.03%	0.03%	±3μrad	±3μrad	±10μrad	±10μrad	< 2nm	< 2nm	0.2nm	0.2nm	静電容量式の間接的な位置測定	0.3nm	0.3nm	ピクマ®	6μF	6μF	1.5N/μm	1.5N/μm	500Hz	370Hz	340Hz	500Hz	370Hz	340Hz	50N
P-733.2DD	要見積もり	XY	30μm	30μm	33μm	33μm	0.03%	0.03%	±5μrad	±5μrad	±10μrad	±10μrad	< 2nm	< 2nm	0.1nm	0.1nm	静電容量式の間接的な位置測定	0.1nm	0.1nm	ピクマ®	6.2μF	6.2μF	20N/μm	20N/μm	2230Hz	-	1550Hz	2230Hz	-	1550Hz	50N