アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー
ピーアイ・ジャパン株式会社
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この製品について
■特徴
・移動範囲はXおよびYで100µm×100µm ・静電容量センサーによる分解能0.1nm ・ダイレクトドライブを備えた高速バージョン ・真空対応および非磁性バージョンもご要望に応じて提供します ・より高い精度とダイナミクスを実現する平行運動学 ・ガイドエラーをアクティブに補正するための並列計測 ・遊びゼロの高精度たわみガイドシステム ・透過光アプリケーション用の有効開口50mm×50mm■応用分野
・走査型顕微鏡検査 ・共焦点顕微鏡 ・マスク/ウェハの位置決め ・表面測定技術 ・ナノインプリンティング ・マイクロマニピュレーション ・画像処理・安定化 ・高い平坦性と動作の直進性を備えたナノポジショニング■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されており、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。 ・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度
静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度
・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。■自動構成と迅速なコンポーネント交換
・メカとコントローラーを必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 ・すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。■直接位置測定による最高の精度
・動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。 ・最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。■平行運動学による高ダイナミックな多軸動作
・パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。 ・最小の質量慣性とすべての軸の同一設計により、高速かつダイナミックでありながら正確な動作が可能になります。-
シリーズ
アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
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カテゴリ
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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー 品番3件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V | Xの直線性誤差 | Yの直線性誤差 | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | Xにおける再現性 | Y方向の再現性 | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | ドライブタイプ | Xの電気容量 | Y方向の電気容量 | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、120gの荷重下 | 200gの荷重下でのXの共振周波数 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、120gの荷重下 | Y方向の共振周波数、200gの荷重下 | X方向の許容押付け力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-733.2CD |
要見積もり | XY | 100μm | 100μm | 115μm | 115μm | 0.03% | 0.03% | ±3μrad | ±3μrad | ±10μrad | ±10μrad | < 2nm | < 2nm | 0.2nm | 0.2nm | 静電容量式の間接的な位置測定 | 0.3nm | 0.3nm | ピクマ® | 6μF | 6μF | 1.5N/μm | 1.5N/μm | 500Hz | 370Hz | 340Hz | 500Hz | 370Hz | 340Hz | 50N | |
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P-733.2CL |
要見積もり | XY | 100μm | 100μm | 115μm | 115μm | 0.03% | 0.03% | ±3μrad | ±3μrad | ±10μrad | ±10μrad | < 2nm | < 2nm | 0.2nm | 0.2nm | 静電容量式の間接的な位置測定 | 0.3nm | 0.3nm | ピクマ® | 6μF | 6μF | 1.5N/μm | 1.5N/μm | 500Hz | 370Hz | 340Hz | 500Hz | 370Hz | 340Hz | 50N | |
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P-733.2DD |
要見積もり | XY | 30μm | 30μm | 33μm | 33μm | 0.03% | 0.03% | ±5μrad | ±5μrad | ±10μrad | ±10μrad | < 2nm | < 2nm | 0.1nm | 0.1nm | 静電容量式の間接的な位置測定 | 0.1nm | 0.1nm | ピクマ® | 6.2μF | 6.2μF | 20N/μm | 20N/μm | 2230Hz | - | 1550Hz | 2230Hz | - | 1550Hz | 50N |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
