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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V | Xの直線性誤差 | Yの直線性誤差 | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | Xにおける再現性 | Y方向の再現性 | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | ドライブタイプ | Xの電気容量 | Y方向の電気容量 | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、120gの荷重下 | 200gの荷重下でのXの共振周波数 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、120gの荷重下 | Y方向の共振周波数、200gの荷重下 | X方向の許容押付け力 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-733.2CD |
要見積もり |
XY |
100μm |
100μm |
115μm |
115μm |
0.03% |
0.03% |
±3μrad |
±3μrad |
±10μrad |
±10μrad |
< 2nm |
< 2nm |
0.2nm |
0.2nm |
静電容量式の間接的な位置測定 |
0.3nm |
0.3nm |
ピクマ® |
6μF |
6μF |
1.5N/μm |
1.5N/μm |
500Hz |
370Hz |
340Hz |
500Hz |
370Hz |
340Hz |
50N |
|
|
|
P-733.2CL |
要見積もり |
XY |
100μm |
100μm |
115μm |
115μm |
0.03% |
0.03% |
±3μrad |
±3μrad |
±10μrad |
±10μrad |
< 2nm |
< 2nm |
0.2nm |
0.2nm |
静電容量式の間接的な位置測定 |
0.3nm |
0.3nm |
ピクマ® |
6μF |
6μF |
1.5N/μm |
1.5N/μm |
500Hz |
370Hz |
340Hz |
500Hz |
370Hz |
340Hz |
50N |
|
|
|
P-733.2DD |
要見積もり |
XY |
30μm |
30μm |
33μm |
33μm |
0.03% |
0.03% |
±5μrad |
±5μrad |
±10μrad |
±10μrad |
< 2nm |
< 2nm |
0.1nm |
0.1nm |
静電容量式の間接的な位置測定 |
0.1nm |
0.1nm |
ピクマ® |
6.2μF |
6.2μF |
20N/μm |
20N/μm |
2230Hz |
- |
1550Hz |
2230Hz |
- |
1550Hz |
50N |
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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