コンパクト、絞り付き P-612.2 XYピエゾナノポジショナー-P-612.20L

コンパクト、絞り付き P-612.2 XYピエゾナノポジショナー
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この製品について

■特徴・コンパクト：面60mm×60mm
・100μm×100μm閉ループ移動範囲 (130μm×130μm、開ループ) 
・コスト重視のアプリケーション向け
・有効口径20mm×20mm
・平行運動学による応答時間の短縮と多軸精度の向上
・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
・コンパクトバージョンとしても利用可能

■応用分野・走査型顕微鏡検査
・ハイスループットの顕微鏡検査
・超解像度顕微鏡
・マスク/ウェハの位置決め
・干渉計
・測定技術
・バイオテクノロジー
・マイクロマニピュレーション

■PICMA® ピエゾアクチュエータによる優れた寿命・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。
・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。
・1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。
・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。広い温度範囲で動作します。

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
コンパクト、絞り付き P-612.2 XYピエゾナノポジショナー

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

コントローラ・制御装置

ポジショナ

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コンパクト、絞り付き P-612.2 XYピエゾナノポジショナー品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X方向の移動範囲、開ループ、-20～120 V	Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120 V	ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)	ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)	ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)	X方向の解像度、開ループ	Y方向の解像度、開ループ	ドライブタイプ	電気容量	ガイド	X方向の剛性	Y方向の剛性	X方向の共振周波数、無負荷	Xの共振周波数、100gの荷重下	Y方向の共振周波数、無負荷	Y方向の共振周波数、100gの荷重下	X方向の許容押付け力	Y方向の許容押付け力	Z方向の許容押付け力	X方向の許容引張力	X方向の移動範囲 100μm	Y方向の移動範囲 100μm	直線性誤差 0.40%	統合センサー SGS、間接位置測定	Xでのシステム解像度 5nm	Y単位のシステム解像度 5nm	Xにおける再現性 <10nm	Y方向の再現性 <10nm
		P-612.20L	要見積もり	XY	130μm	130μm	±10μrad	±10μrad	±10μrad	±50μrad	0.8nm	0.8nm	ピクマ®	1.5μF	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.15N/μm	0.15N/μm	400Hz	200Hz	400Hz	200Hz	15N	15N	15N	5N	-	-	-	-	-	-	-	-
		P-612.2SL	要見積もり	XY	130μm	130μm	±10μrad	±10μrad	±10μrad	±50μrad	0.8nm	0.8nm	ピクマ®	1.5μF	レバー増幅機能付きたわみガイド	0.15N/μm	0.15N/μm	400Hz	200Hz	400Hz	200Hz	15N	15N	15N	5N	100μm	100μm	0.40%	SGS、間接位置測定	5nm	5nm	<10nm	<10nm