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コンパクト、絞り付き P-612.2 XYピエゾナノポジショナー取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120 V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120 V | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | ドライブタイプ | 電気容量 | ガイド | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | Z方向の許容押付け力 | X方向の許容引張力 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | 直線性誤差 | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | Xにおける再現性 | Y方向の再現性 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-612.20L |
要見積もり |
XY |
130μm |
130μm |
±10μrad |
±10μrad |
±10μrad |
±50μrad |
0.8nm |
0.8nm |
ピクマ® |
1.5μF |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.15N/μm |
0.15N/μm |
400Hz |
200Hz |
400Hz |
200Hz |
15N |
15N |
15N |
5N |
- | - | - | - | - | - | - | - | |
|
|
P-612.2SL |
要見積もり |
XY |
130μm |
130μm |
±10μrad |
±10μrad |
±10μrad |
±50μrad |
0.8nm |
0.8nm |
ピクマ® |
1.5μF |
レバー増幅機能付きたわみガイド |
0.15N/μm |
0.15N/μm |
400Hz |
200Hz |
400Hz |
200Hz |
15N |
15N |
15N |
5N |
100μm |
100μm |
0.40% |
SGS、間接位置測定 |
5nm |
5nm |
<10nm |
<10nm |
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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