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コンパクト、絞り付き P-612.2 XYピエゾナノポジショナー取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120 V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120 V | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | ドライブタイプ | 電気容量 | ガイド | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | Z方向の許容押付け力 | X方向の許容引張力 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | 直線性誤差 | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | Xにおける再現性 | Y方向の再現性 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-612.20L |
要見積もり | XY | 130μm | 130μm | ±10μrad | ±10μrad | ±10μrad | ±50μrad | 0.8nm | 0.8nm | ピクマ® | 1.5μF | レバー増幅機能付きたわみガイド | 0.15N/μm | 0.15N/μm | 400Hz | 200Hz | 400Hz | 200Hz | 15N | 15N | 15N | 5N | - | - | - | - | - | - | - | - | |
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P-612.2SL |
要見積もり | XY | 130μm | 130μm | ±10μrad | ±10μrad | ±10μrad | ±50μrad | 0.8nm | 0.8nm | ピクマ® | 1.5μF | レバー増幅機能付きたわみガイド | 0.15N/μm | 0.15N/μm | 400Hz | 200Hz | 400Hz | 200Hz | 15N | 15N | 15N | 5N | 100μm | 100μm | 0.40% | SGS、間接位置測定 | 5nm | 5nm | <10nm | <10nm |
