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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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精密ステージの製品413点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を2件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | クローズドループ | 内蔵センサー | 移動範囲 (-20~120V) オープンループ時 | 移動範囲 (クローズドループ時) | Z軸分解能 (オープンループ時) | リニアリティエラー (θX,θY) | 再現性X、Y、Z | ピッチング (X、Y) | クロストークθX,θY (Z方向へ動作時) | ヨーイング (X,Y) | 平坦度 (X、Y) | クロストーク (X、Y) (Z方向へ動作時) | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 共振周波数@330g (X,Y,Z) | 負荷容量 | ピエゾセラミック | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ | 共振周波数@100g (X,Y,Z) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-562.3CD |
要見積もり |
200 × 200 × 200 µm |
静電容量 |
300 × 300 × 300 μm |
1 μm |
0.4 nm |
0.03 % |
2 / 2 / 4 nm |
±2 µrad |
±20 µrad |
±10 µrad |
±20 nm |
±50 nm |
160 / 160 / 315 Hz |
130 / 130 / 195 Hz |
5 kg |
PICMAPICM |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF |
-20~80 ℃ |
アルミニウム |
1.45 kg |
CLバージョン：LEMO |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 |
145 / 145 / 275 Hz |
|
|
|
P-562.3CL |
要見積もり |
200 × 200 × 200 µm |
静電容量 |
300 × 300 × 300 μm |
1 μm |
0.4 nm |
0.03 % |
2 / 2 / 4 nm |
±2 µrad |
±20 µrad |
±10 µrad |
±20 nm |
±50 nm |
160 / 160 / 315 Hz |
130 / 130 / 195 Hz |
5 kg |
PICMAPICM |
7.4 / 7.4 / 14.8 µF |
-20~80 ℃ |
アルミニウム |
1.45 kg |
CLバージョン：LEMO |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 |
145 / 145 / 275 Hz |
精密ステージの中で同じ条件の製品
移動範囲: 200 - 300mm
精密ステージをフィルターから探すことができます
アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング
