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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ-P-561.3CD
3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

■特徴

・X 軸と Y 軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します ・移動範囲300x300x300μm ・静電容量センサーによる最高の直線性 ・ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム ・優れたスキャニング平坦度 ・ハイダイナミクスなXYZバージョンをご用意 ・有効開口部66 mmx66mm ・PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・UHVバージョン10-9hPa 概要

■応用分野

走査型顕微鏡検査/干渉計/マスク.ウエハー位置決め/計測技術/バイオテクノロジー/ スキャニングとスクリーニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス,摩擦摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換

メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

  • シリーズ

    3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ

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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ 品番7件

フィルター

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商品画像 品番 価格 (税抜) 内蔵センサー 負荷容量 ピエゾセラミック 動作温度範囲 材料 センサー/ボルト接続 推奨コントローラ
3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニング ステージ-品番-P-561.3CD

P-561.3CD

要見積もり

100 × 100 × 100 µm

静電容量

150 × 150 × 150 μm

0.8 μm

0.2 nm

0.03 %

2 / 2 / 2 nm

±1 µrad

±15 µrad

±6 µrad

±15 nm

±30 nm

190 / 190 / 380 Hz

140 / 140 / 300 Hz

5 kg

PICMAPICM
A P-885

5.2 / 5.2 / 10.4 µF

-20~80 ℃

アルミニウム

1.45 kg

CLバージョン:LEMO
CDバージョン:D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル

E-503, E-505, E621,E-712 , E-727

-

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使用用途: 測定

フィルターから探す

精密ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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