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直接計測を備えた高負荷ピエゾ駆動ナノポジショナー P-750 ピエゾナノポジショナー取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲 (µm) | 移動範囲 (X) 、開ループ、-20〜120V (µm) | ロール (θXの回転クロストークとXの運動) (μrad) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) | 統合センサー | X単位のシステム解像度 (nm) | X単位の分解能、オープンループ (nm) | ドライブの種類 | X単位の電気容量 (μF) | ガイド | Xの共振周波数、無負荷 (Hz) | Z単位の許容押し力 (N) | 全体の質量 (kg) | コネクタ | センサーコネクタ | ケーブル長 (m) | 推奨コントローラ/ドライバ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-750.20 |
要見積もり |
X |
75 |
75 |
±10 |
±10 |
静電容量式、直接位置測定 |
1 |
0.4 |
ピクマ® |
7.7 |
レバー増幅付き曲げガイド |
600 |
100 |
2.55 |
レモFFS.00.250.CTCE24 |
レモFFA.00.250.CTLC31 |
1 |
E-500•E-501,E-610,E-621,E-625,E-665,E-709,E-754 |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
