直接位置測定とクリアアパーチャ P-733.Z ハイダイナミクスZナノポジショニングステージ-P-733.ZCD

直接位置測定とクリアアパーチャ P-733.Z ハイダイナミクスZナノポジショニングステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■応用分野・走査型顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・マスク/ウェーハの位置決め
・表面測定技術
・ナノインプリント
・マイクロマニピュレーション
・画像処理/安定化
・高い平坦性と真直度の動きによるナノポジショニング

製品概要
■PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命®特許取得済みのPICMAピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMAアクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。®

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。

■直接位置測定による最大精度モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品特徴・移動範囲100μm
・静電容量センサーによる直接位置測定
・0.3nmまでの分解能、閉ループ
・クリアアパーチャ50mm×50mm
・追加の自由度を持つ他のバージョンが利用可能
・XYおよびXYZバージョンが利用可能
・真空対応バージョン (ご要望に応じて)

■その他PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
直接位置測定とクリアアパーチャ P-733.Z ハイダイナミクスZナノポジショニングステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

位置決めステージ

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直接位置測定とクリアアパーチャ P-733.Z ハイダイナミクスZナノポジショニングステージ品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	Z単位の移動範囲 (µm)	移動範囲 (Z) 、開ループ、-20〜120V (µm)	直線性誤差 (%)	ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad)	ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad)	ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad)	再現 (nm)	分解能、開ループ (nm)	統合センサー	システム解像度 (nm)	ドライブの種類	電気容量 (μF)	剛性 (N/μm)	Zの共振周波数、無負荷 (Hz)	Zの共振周波数、120gの負荷下 (Hz)	Zの共振周波数、200gの負荷下 (Hz)	Z単位の許容押し力 (N)	Z単位の許容引張力 (N)	ガイド	全体の質量 (g)	材料	使用温度範囲 (℃)	コネクタ Dサブ7W2 (m) レモFFS.00.250.CTCE24	ケーブル長 (m)	推奨コントローラ/ドライバ E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-754 E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-755	センサーコネクタ LEMO FFA.00.250.CTLC17
		P-733.ZCD	要見積もり	Z	100	115	0.03	<5	<5	<10	<2	0.2	静電容量式、直接位置測定	0.3	ピクマ®	6	2.5	700	530	415	50	20	レバー増幅付き曲げガイド	580	アルミニウム	-20から80	Dサブ7W2 (m)	1.5	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-754	-
		P-733.ZCL	要見積もり	Z	100	115	0.03	<5	<5	<10	<2	0.2	静電容量式、直接位置測定	0.3	ピクマ®	6	2.5	700	530	415	50	20	レバー増幅付き曲げガイド	580	アルミニウム	-20から80	レモFFS.00.250.CTCE24	1.5	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-755	LEMO FFA.00.250.CTLC17