真空対応　P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ-P-621.1U

真空対応　P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■応用分野・干渉計
・顕微鏡
・ナノポジショニング
・バイオテクノロジー
・テストアプリケーション
・半導体技術
・フォトニクス
・ファイバーポジショニング

製品概要
■高度な真空アプリケーションに適していますピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に最適です。操作に潤滑剤やグリースは必要ありません。ポリマーフリーのピエゾシステムは、特に低いアウトガス率を可能にします。

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品特徴・移動範囲100〜500μm (600μmオープンループ)
・0.2nmまでの分解能
・直線性誤差≤0.03%
・XYの組み合わせが可能
・10⁻⁹hPaまでUHV対応

■その他・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。
・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
真空対応　P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

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真空対応　P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X単位の移動範囲 (µm) 100 250 500	X単位の移動範囲、開ループ (µm) 120 300 600	Xの直線性誤差 (%) 0.02 0.03	ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ±3 ±6	ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) ±3 ±6	統合センサー	Xでのシステム解像度 (nm) 0.4 0.7 1.4	X単位の分解能、開ループ (nm) 0.2 0.4 0.5	Xでの双方向再現性 (nm) ±1 ±5	ドライブの種類	X単位の電気容量 (μF) 1.5 3.1 6.2	短期最大動作周波数 (Hz) 72 133 267	ガイド	Xの剛性 (N/μm) 0.1 0.2 0.35	Xの共振周波数、120gの負荷下 (Hz) 110 185 240	Xの共振周波数、20gの負荷下 (Hz) 180 340 520	Xの共振周波数、無負荷 (Hz) 215 400 800	Xでの許容プッシュ力 (N)	Y単位の許容押し力 (N)	Z単位の許容押し力 (N)	Xでの許容引っ張り力 (N)	全体の質量 (g) 160 200 240	材料	コネクタ	真空クラス (hPa)	推奨コントローラ/ドライバ E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754 E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-755 E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-756	ケーブル長 (m)	使用温度範囲 (℃)
P-621.1U	要見積もり	X	100	120	0.02	±3	±3	静電容量式、直接位置測定	0.4	0.2	±1	ピクマ®	1.5	267	レバー増幅付き曲げガイド	0.35	240	520	800	10	10	10	10	160	アルミニウム	Dサブ5W1 (f)	10⁻⁹ヘクトパスカル	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754	1.5	-20から80
P-622.1U	要見積もり	X	250	300	0.02	±3	±3	静電容量式、直接位置測定	0.7	0.4	±1	ピクマ®	3.1	133	レバー増幅付き曲げガイド	0.2	185	340	400	10	10	10	10	200	アルミニウム	Dサブ5W1 (f)	10⁻⁹ヘクトパスカル	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-755	1.5	-20から80
P-625.1U	要見積もり	X	500	600	0.03	±6	±6	静電容量式、直接位置測定	1.4	0.5	±5	ピクマ®	6.2	72	レバー増幅付き曲げガイド	0.1	110	180	215	10	10	10	10	240	アルミニウム	Dサブ5W1 (f)	10⁻⁹ヘクトパスカル	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-756	1.5	-20から80