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真空対応 P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲 (µm) | X単位の移動範囲、開ループ (µm) | Xの直線性誤差 (%) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) | ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) | 統合センサー | Xでのシステム解像度 (nm) | X単位の分解能、開ループ (nm) | Xでの双方向再現性 (nm) | ドライブの種類 | X単位の電気容量 (μF) | 短期最大動作周波数 (Hz) | ガイド | Xの剛性 (N/μm) | Xの共振周波数、120gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、20gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、無負荷 (Hz) | Xでの許容プッシュ力 (N) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) | Xでの許容引っ張り力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | コネクタ | 真空クラス (hPa) | 推奨コントローラ/ドライバ | ケーブル長 (m) | 使用温度範囲 (℃) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-621.1U |
要見積もり |
X |
100 |
120 |
0.02 |
±3 |
±3 |
静電容量式、直接位置測定 |
0.4 |
0.2 |
±1 |
ピクマ® |
1.5 |
267 |
レバー増幅付き曲げガイド |
0.35 |
240 |
520 |
800 |
10 |
10 |
10 |
10 |
160 |
アルミニウム |
Dサブ5W1 (f) |
10⁻⁹ヘクトパスカル |
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754 |
1.5 |
-20から80 |
|
|
|
P-622.1U |
要見積もり |
X |
250 |
300 |
0.02 |
±3 |
±3 |
静電容量式、直接位置測定 |
0.7 |
0.4 |
±1 |
ピクマ® |
3.1 |
133 |
レバー増幅付き曲げガイド |
0.2 |
185 |
340 |
400 |
10 |
10 |
10 |
10 |
200 |
アルミニウム |
Dサブ5W1 (f) |
10⁻⁹ヘクトパスカル |
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-755 |
1.5 |
-20から80 |
|
|
|
P-625.1U |
要見積もり |
X |
500 |
600 |
0.03 |
±6 |
±6 |
静電容量式、直接位置測定 |
1.4 |
0.5 |
±5 |
ピクマ® |
6.2 |
72 |
レバー増幅付き曲げガイド |
0.1 |
110 |
180 |
215 |
10 |
10 |
10 |
10 |
240 |
アルミニウム |
Dサブ5W1 (f) |
10⁻⁹ヘクトパスカル |
E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-756 |
1.5 |
-20から80 |
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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