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真空対応 P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲 (µm) | X単位の移動範囲、開ループ (µm) | Xの直線性誤差 (%) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) | ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) | 統合センサー | Xでのシステム解像度 (nm) | X単位の分解能、開ループ (nm) | Xでの双方向再現性 (nm) | ドライブの種類 | X単位の電気容量 (μF) | 短期最大動作周波数 (Hz) | ガイド | Xの剛性 (N/μm) | Xの共振周波数、120gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、20gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、無負荷 (Hz) | Xでの許容プッシュ力 (N) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) | Xでの許容引っ張り力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | コネクタ | 真空クラス (hPa) | 推奨コントローラ/ドライバ | ケーブル長 (m) | 使用温度範囲 (℃) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-621.1U |
要見積もり | X | 100 | 120 | 0.02 | ±3 | ±3 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.4 | 0.2 | ±1 | ピクマ® | 1.5 | 267 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.35 | 240 | 520 | 800 | 10 | 10 | 10 | 10 | 160 | アルミニウム | Dサブ5W1 (f) | 10⁻⁹ヘクトパスカル | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754 | 1.5 | -20から80 | |
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P-622.1U |
要見積もり | X | 250 | 300 | 0.02 | ±3 | ±3 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.7 | 0.4 | ±1 | ピクマ® | 3.1 | 133 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.2 | 185 | 340 | 400 | 10 | 10 | 10 | 10 | 200 | アルミニウム | Dサブ5W1 (f) | 10⁻⁹ヘクトパスカル | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-755 | 1.5 | -20から80 | |
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P-625.1U |
要見積もり | X | 500 | 600 | 0.03 | ±6 | ±6 | 静電容量式、直接位置測定 | 1.4 | 0.5 | ±5 | ピクマ® | 6.2 | 72 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.1 | 110 | 180 | 215 | 10 | 10 | 10 | 10 | 240 | アルミニウム | Dサブ5W1 (f) | 10⁻⁹ヘクトパスカル | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-756 | 1.5 | -20から80 |
