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P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-P-620.Z0L
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■応用分野

・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 製品概要

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度

モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品特徴

・移動範囲50μmから250μm (350μmオープンループ) ・0.1nmまでの分解能 ・直線性誤差はわずか0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZ バージョン

■その他

・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 ・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。

  • シリーズ

    P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ

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P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ 品番9件

フィルター

次の条件に該当する商品を4件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 ドライブの種類 ガイド Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 材料 ケーブル長 (m)
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-620.Z0L

P-620.Z0L

要見積もり

Z

65

±80

±80

0.1

ピクマ®

0.7

333

レバー増幅付き曲げガイド

0.5

690

1,000

10

10

5

120

アルミニウム

LEMOFFS.00.250.CTCE24

E-503,E-505,E-610

1.5

-20から150

- - - - - -
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-620.ZCD

P-620.ZCD

要見積もり

Z

65

±80

±80

0.1

ピクマ®

0.7

333

レバー増幅付き曲げガイド

0.5

690

1,000

10

10

5

120

アルミニウム

D-sub7W2 (m)

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

50

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.2

±1

D-sub7W2 (m)

P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-621.ZCD

P-621.ZCD

要見積もり

Z

140

±100

±100

0.2

ピクマ®

3

263

レバー増幅付き曲げガイド

0.6

500

790

10

10

8

170

アルミニウム

D-sub7W2 (m)

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

100

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.3

±1

D-sub7W2 (m)

P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-621.ZCL

P-621.ZCL

要見積もり

Z

140

±100

±100

0.2

ピクマ®

3

263

レバー増幅付き曲げガイド

0.6

500

790

10

10

8

170

アルミニウム

LEMOFFS.00.250.CTCE24

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

100

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.3

±1

静電容量センサー用LEMO

フィルターに該当する他製品

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移動範囲: 50 - 100µm

フィルターから探す

ピエゾステージをフィルターから探すことができます

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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