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P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 移動範囲 (Z) 、開ループ (µm) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad) | Z単位の分解能、開ループ (nm) | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 (μF) | 短期最大動作周波数 (Hz) | ガイド | Zの剛性 (N/μm) | Zの共振周波数、30gの負荷下 (Hz) | Zの共振周波数、無負荷 (Hz) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容引張力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | コネクタ | 推奨コントローラ/ドライバ | ケーブル長 (m) | 使用温度範囲 (℃) | Z単位の移動範囲 (µm) | Zの直線性誤差 (%) | 統合センサー | Zでのシステム解像度 (nm) | Zでの双方向再現性 (nm) | センサーコネクタ | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-620.Z0L |
要見積もり | Z | 65 | ±80 | ±80 | 0.1 | ピクマ® | 0.7 | 333 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.5 | 690 | 1,000 | 10 | 10 | 5 | 120 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - | |
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P-620.ZCD |
要見積もり | Z | 65 | ±80 | ±80 | 0.1 | ピクマ® | 0.7 | 333 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.5 | 690 | 1,000 | 10 | 10 | 5 | 120 | アルミニウム | D-sub7W2 (m) | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 50 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.2 | ±1 | D-sub7W2 (m) | |
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P-620.ZCL |
要見積もり | Z | 65 | ±80 | ±80 | 0.1 | ピクマ® | 0.7 | 333 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.5 | 690 | 1,000 | 10 | 10 | 5 | 120 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 50 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.2 | ±1 | 静電容量センサー用LEMO | |
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P-621.Z0L |
要見積もり | Z | 140 | ±100 | ±100 | 0.2 | ピクマ® | 3 | 263 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.6 | 500 | 790 | 10 | 10 | 8 | 170 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - | |
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P-621.ZCD |
要見積もり | Z | 140 | ±100 | ±100 | 0.2 | ピクマ® | 3 | 263 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.6 | 500 | 790 | 10 | 10 | 8 | 170 | アルミニウム | D-sub7W2 (m) | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 100 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.3 | ±1 | D-sub7W2 (m) | |
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P-621.ZCL |
要見積もり | Z | 140 | ±100 | ±100 | 0.2 | ピクマ® | 3 | 263 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.6 | 500 | 790 | 10 | 10 | 8 | 170 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 100 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.3 | ±1 | 静電容量センサー用LEMO | |
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P-622.Z0L |
要見積もり | Z | 350 | ±200 | ±200 | 0.5 | ピクマ® | 6.2 | 120 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.24 | 270 | 360 | 10 | 10 | 8 | 240 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - | |
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P-622.ZCD |
要見積もり | Z | 350 | ±200 | ±200 | 0.5 | ピクマ® | 6.2 | 120 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.24 | 270 | 360 | 10 | 10 | 8 | 240 | アルミニウム | D-sub7W2 (m) | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 250 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 1 | ±1 | D-sub7W2 (m) | |
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P-622.ZCL |
要見積もり | Z | 350 | ±200 | ±200 | 0.5 | ピクマ® | 6.2 | 120 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.24 | 270 | 360 | 10 | 10 | 8 | 240 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 250 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 1 | ±1 | 静電容量センサー用LEMO |
