P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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この製品について
■応用分野
・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品概要■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。■直接位置測定による最大精度
モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。■製品特徴
・移動範囲50〜1,800μm ・0.1nmまでの分解能 ・直線性誤差0.02% ・X、XY、Zバージョン。XYZの組み合わせが可能 ・P-628.1CD/P-628.1CL:デジタルコントローラ使用時の直線性誤差X (標準) 0.03%アナログコントローラ付き0.05% ・P-629.1CD/P-629.1CL:デジタルコントローラ使用時の直線性誤差X (標準) 0.03%アナログコントローラ付き0.08% ・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 ・10までの真空バージョン-9hPaはP-62x.1Uの注文番号で入手できます。 ・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。 ※ほかにも型番がございます。-
シリーズ
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
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P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲、開ループ (µm) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) | ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) | X単位の分解能、開ループ (nm) | ドライブの種類 | X単位の電気容量 (μF) | 短期最大動作周波数 (Hz) | ガイド | Xの剛性 (N/μm) | Xの共振周波数、120gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、20gの負荷下 (Hz) | Xの共振周波数、無負荷 (Hz) | Xでの許容プッシュ力 (N) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) | Xでの許容引っ張り力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | コネクタ | 推奨コントローラ/ドライバ | ケーブル長 (m) | 使用温度範囲 (℃) | X単位の移動範囲 (µm) | Xの直線性誤差 (%) | 統合センサー | Xでのシステム解像度 (nm) | Xでの双方向再現性 (nm) | センサーコネクタ |
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P-620.10L |
要見積もり | X | 60 | ±3 | ±3 | 0.1 | ピクマ® | 0.35 | 367 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.42 | 260 | 550 | 1,100 | 10 | 10 | 10 | 10 | 110 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-665 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - | |
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P-620.1CD |
要見積もり | X | 60 | ±3 | ±3 | 0.1 | ピクマ® | 0.35 | 367 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.42 | 260 | 550 | 1,100 | 10 | 10 | 10 | 10 | 110 | アルミニウム | Dサブ7W2 (m) | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 50 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.2 | ±1 | - | |
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P-620.1CL |
要見積もり | X | 60 | ±3 | ±3 | 0.1 | ピクマ® | 0.35 | 367 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.42 | 260 | 550 | 1,100 | 10 | 10 | 10 | 10 | 110 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 50 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.2 | ±1 | 静電容量センサー用LEMO | |
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P-621.10L |
要見積もり | X | 120 | ±3 | ±3 | 0.2 | ピクマ® | 1.5 | 267 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.35 | 240 | 520 | 800 | 10 | 10 | 10 | 10 | 160 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-665 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - | |
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P-621.1CD |
要見積もり | X | 120 | ±3 | ±3 | 0.2 | ピクマ® | 1.5 | 267 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.35 | 240 | 520 | 800 | 10 | 10 | 10 | 10 | 160 | アルミニウム | Dサブ7W2 (m) | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 100 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.4 | ±1 | - | |
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P-621.1CL |
要見積もり | X | 120 | ±3 | ±3 | 0.2 | ピクマ® | 1.5 | 267 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.35 | 240 | 520 | 800 | 10 | 10 | 10 | 10 | 160 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 100 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.4 | ±1 | 静電容量センサー用LEMO | |
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P-622.10L |
要見積もり | X | 300 | ±3 | ±3 | 0.4 | ピクマ® | 3.1 | 133 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.2 | 185 | 340 | 400 | 10 | 10 | 10 | 10 | 200 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-665 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - | |
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P-622.1CD |
要見積もり | X | 300 | ±3 | ±3 | 0.4 | ピクマ® | 3.1 | 133 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.2 | 185 | 340 | 400 | 10 | 10 | 10 | 10 | 200 | アルミニウム | Dサブ7W2 (m) | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 250 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.7 | ±1 | - | |
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P-622.1CL |
要見積もり | X | 300 | ±3 | ±3 | 0.4 | ピクマ® | 3.1 | 133 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.2 | 185 | 340 | 400 | 10 | 10 | 10 | 10 | 200 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 | 1.5 | -20から80 | 250 | 0.02 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.7 | ±1 | 静電容量センサー用LEMO | |
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P-625.10L |
要見積もり | X | 600 | ±6 | ±6 | 0.5 | ピクマ® | 6.2 | 72 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.1 | 110 | 180 | 215 | 10 | 10 | 10 | 10 | 240 | アルミニウム | レモ・ルプツト | E-503,E-505,E-610,E-665 | 1.5 | -20から150 | - | - | - | - | - | - |
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