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P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-P-620.10L
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■応用分野

・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品概要

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度

モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品特徴

・移動範囲50〜1,800μm ・0.1nmまでの分解能 ・直線性誤差0.02% ・X、XY、Zバージョン。XYZの組み合わせが可能 ・P-628.1CD/P-628.1CL:デジタルコントローラ使用時の直線性誤差X (標準) 0.03%アナログコントローラ付き0.05% ・P-629.1CD/P-629.1CL:デジタルコントローラ使用時の直線性誤差X (標準) 0.03%アナログコントローラ付き0.08% ・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 ・10までの真空バージョン-9hPaはP-62x.1Uの注文番号で入手できます。 ・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ

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P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 ドライブの種類 ガイド Xでの許容プッシュ力 (N) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) Xでの許容引っ張り力 (N) 材料 ケーブル長 (m)
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-620.10L

P-620.10L

要見積もり

X

60

±3

±3

0.1

ピクマ®

0.35

367

レバー増幅付き曲げガイド

0.42

260

550

1,100

10

10

10

10

110

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-665

1.5

-20から150

- - - - - -
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-620.1CD

P-620.1CD

要見積もり

X

60

±3

±3

0.1

ピクマ®

0.35

367

レバー増幅付き曲げガイド

0.42

260

550

1,100

10

10

10

10

110

アルミニウム

Dサブ7W2 (m)

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

50

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.2

±1

-
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-620.1CL

P-620.1CL

要見積もり

X

60

±3

±3

0.1

ピクマ®

0.35

367

レバー増幅付き曲げガイド

0.42

260

550

1,100

10

10

10

10

110

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

50

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.2

±1

静電容量センサー用LEMO

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.10L

P-621.10L

要見積もり

X

120

±3

±3

0.2

ピクマ®

1.5

267

レバー増幅付き曲げガイド

0.35

240

520

800

10

10

10

10

160

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-665

1.5

-20から150

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P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.1CD

P-621.1CD

要見積もり

X

120

±3

±3

0.2

ピクマ®

1.5

267

レバー増幅付き曲げガイド

0.35

240

520

800

10

10

10

10

160

アルミニウム

Dサブ7W2 (m)

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

100

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.4

±1

-
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.1CL

P-621.1CL

要見積もり

X

120

±3

±3

0.2

ピクマ®

1.5

267

レバー増幅付き曲げガイド

0.35

240

520

800

10

10

10

10

160

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

100

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.4

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静電容量センサー用LEMO

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-622.10L

P-622.10L

要見積もり

X

300

±3

±3

0.4

ピクマ®

3.1

133

レバー増幅付き曲げガイド

0.2

185

340

400

10

10

10

10

200

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-665

1.5

-20から150

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P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-622.1CD

P-622.1CD

要見積もり

X

300

±3

±3

0.4

ピクマ®

3.1

133

レバー増幅付き曲げガイド

0.2

185

340

400

10

10

10

10

200

アルミニウム

Dサブ7W2 (m)

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

250

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.7

±1

-
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-622.1CL

P-622.1CL

要見積もり

X

300

±3

±3

0.4

ピクマ®

3.1

133

レバー増幅付き曲げガイド

0.2

185

340

400

10

10

10

10

200

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754

1.5

-20から80

250

0.02

静電容量式、直接位置測定

0.7

±1

静電容量センサー用LEMO

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸 小型ピエゾステージ-品番-P-625.10L

P-625.10L

要見積もり

X

600

±6

±6

0.5

ピクマ®

6.2

72

レバー増幅付き曲げガイド

0.1

110

180

215

10

10

10

10

240

アルミニウム

レモ・ルプツト

E-503,E-505,E-610,E-665

1.5

-20から150

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ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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