P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸　小型ピエゾステージ-P-620.10L

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸　小型ピエゾステージ
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この製品について

■応用分野・干渉計
・顕微鏡
・ナノポジショニング
・バイオテクノロジー
・テストアプリケーション
・半導体技術
・フォトニクス
・ファイバーポジショニング

製品概要
■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品特徴・移動範囲50〜1,800μm
・0.1nmまでの分解能
・直線性誤差0.02%
・X、XY、Zバージョン。XYZの組み合わせが可能

・P-628.1CD/P-628.1CL:デジタルコントローラ使用時の直線性誤差X (標準) 0.03%アナログコントローラ付き0.05%
・P-629.1CD/P-629.1CL:デジタルコントローラ使用時の直線性誤差X (標準) 0.03%アナログコントローラ付き0.08%
・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。
・10までの真空バージョン-9hPaはP-62x.1Uの注文番号で入手できます。
・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。

※ほかにも型番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸　小型ピエゾステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

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P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸　小型ピエゾステージ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X単位の移動範囲、開ループ (µm) 60 120 300 600	ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ±3 ±6	ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) ±3 ±6	X単位の分解能、開ループ (nm) 0.1 0.2 0.4 0.5	ドライブの種類	X単位の電気容量 (μF) 0.35 1.5 3.1 6.2	短期最大動作周波数 (Hz) 72 133 267 367	ガイド	Xの剛性 (N/μm) 0.1 0.2 0.35 0.42	Xの共振周波数、120gの負荷下 (Hz) 110 185 240 260	Xの共振周波数、20gの負荷下 (Hz) 180 340 520 550	Xの共振周波数、無負荷 (Hz) 215 400 800 1,100	Xでの許容プッシュ力 (N)	Y単位の許容押し力 (N)	Z単位の許容押し力 (N)	Xでの許容引っ張り力 (N)	全体の質量 (g) 110 160 200 240	材料	コネクタレモ・ルプツト Dサブ7W2 (m)	推奨コントローラ/ドライバ E-503,E-505,E-610,E-665 E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	ケーブル長 (m)	使用温度範囲 (℃) -20から150 -20から80	X単位の移動範囲 (µm) 50 100 250	Xの直線性誤差 (%) 0.02	統合センサー静電容量式、直接位置測定	Xでのシステム解像度 (nm) 0.2 0.4 0.7	Xでの双方向再現性 (nm) ±1	センサーコネクタ静電容量センサー用LEMO
P-620.10L	要見積もり	X	60	±3	±3	0.1	ピクマ®	0.35	367	レバー増幅付き曲げガイド	0.42	260	550	1,100	10	10	10	10	110	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-665	1.5	-20から150	-	-	-	-	-	-
P-620.1CD	要見積もり	X	60	±3	±3	0.1	ピクマ®	0.35	367	レバー増幅付き曲げガイド	0.42	260	550	1,100	10	10	10	10	110	アルミニウム	Dサブ7W2 (m)	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	1.5	-20から80	50	0.02	静電容量式、直接位置測定	0.2	±1	-
P-620.1CL	要見積もり	X	60	±3	±3	0.1	ピクマ®	0.35	367	レバー増幅付き曲げガイド	0.42	260	550	1,100	10	10	10	10	110	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	1.5	-20から80	50	0.02	静電容量式、直接位置測定	0.2	±1	静電容量センサー用LEMO
P-621.10L	要見積もり	X	120	±3	±3	0.2	ピクマ®	1.5	267	レバー増幅付き曲げガイド	0.35	240	520	800	10	10	10	10	160	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-665	1.5	-20から150	-	-	-	-	-	-
P-621.1CD	要見積もり	X	120	±3	±3	0.2	ピクマ®	1.5	267	レバー増幅付き曲げガイド	0.35	240	520	800	10	10	10	10	160	アルミニウム	Dサブ7W2 (m)	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	1.5	-20から80	100	0.02	静電容量式、直接位置測定	0.4	±1	-
P-621.1CL	要見積もり	X	120	±3	±3	0.2	ピクマ®	1.5	267	レバー増幅付き曲げガイド	0.35	240	520	800	10	10	10	10	160	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	1.5	-20から80	100	0.02	静電容量式、直接位置測定	0.4	±1	静電容量センサー用LEMO
P-622.10L	要見積もり	X	300	±3	±3	0.4	ピクマ®	3.1	133	レバー増幅付き曲げガイド	0.2	185	340	400	10	10	10	10	200	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-665	1.5	-20から150	-	-	-	-	-	-
P-622.1CD	要見積もり	X	300	±3	±3	0.4	ピクマ®	3.1	133	レバー増幅付き曲げガイド	0.2	185	340	400	10	10	10	10	200	アルミニウム	Dサブ7W2 (m)	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	1.5	-20から80	250	0.02	静電容量式、直接位置測定	0.7	±1	-
P-622.1CL	要見積もり	X	300	±3	±3	0.4	ピクマ®	3.1	133	レバー増幅付き曲げガイド	0.2	185	340	400	10	10	10	10	200	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754	1.5	-20から80	250	0.02	静電容量式、直接位置測定	0.7	±1	静電容量センサー用LEMO
P-625.10L	要見積もり	X	600	±6	±6	0.5	ピクマ®	6.2	72	レバー増幅付き曲げガイド	0.1	110	180	215	10	10	10	10	240	アルミニウム	レモ・ルプツト	E-503,E-505,E-610,E-665	1.5	-20から150	-	-	-	-	-	-