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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-6239500057
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

製品概要

■リファレンスクラスリニアステージ

高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1V) を備えたインクリメンタルエンコーダによる高い位置分解能 DCサーボモータまたはステッピングモータを備えたバージョンは、同じフットプリントで入手可能です。

■磁気ダイレクトドライブ

高速と加速のためのアイアンレス磁気ダイレクトドライブ。高い位置分解能。

■応用分野

産業と研究。半導体または電子機器製造における計測、精密スキャン。

■製品特徴

・1,016mm (40'') までの移動範囲 ・800mm/sまでの速度 ・分解能15nmのインクリメンタルエンコーダ ・480Nピーク力

  • シリーズ

    磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ

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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) X単位の最小増分モーション (μm) X単位の位置決め精度、未校正 (μm) Xにおける一方向再現性 (µm) Xでの双方向再現性 (µm) リミットスイッチ 統合センサー センサー信号 ドライブの種類 公称電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) Xの駆動力 (N) Xのピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) 逆起電力位相 (V·s/m) ポールピッチN-N (mm) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 質量をX単位で移動し、無負荷 (g) ガイド
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-品番-6239500057

6239500057

要見積もり

x

304

800

±3

±3

±40

±20

0.05

±70

±0.0375

0.3

帰納

インクリメンタルリニアエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

15

アイアンレス3相リニアモーター

48

3.7

17.5

100

480

27.5

1.28

1

22.5

42

500

500

2,500

再循環ボールベアリングガイド

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-品番-6239500021

6239500021

要見積もり

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800

±4

±4

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±0.0375

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インクリメンタルリニアエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

16

アイアンレス3相リニアモーター

48

3.7

17.5

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480

27.5

1.28

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22.5

42

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500

2,500

再循環ボールベアリングガイド

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-品番-6239500058

6239500058

要見積もり

x

813

800

±7

±7

±100

±40

0.05

±70

±0.0375

0.3

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インクリメンタルリニアエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

17

アイアンレス3相リニアモーター

48

3.7

17.5

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480

27.5

1.28

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22.5

42

500

500

2,500

再循環ボールベアリングガイド

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-品番-6239500059

6239500059

要見積もり

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1,015

800

±10

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±70

±0.0375

0.3

帰納

インクリメンタルリニアエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

18

アイアンレス3相リニアモーター

48

3.7

17.5

100

480

27.5

1.28

4

22.5

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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