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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-L-509.021100V6
コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■製品概要

アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクトなデザイン。高い安定性のための応力緩和アルミニウムベース。リミットスイッチ。移動範囲の中央に方向検出を備えた非接触光基準スイッチ。

■特に真空環境での使用のためのアウトガスの削減

最も注目すべきは、ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。PI V6真空クラスのこれと他の変更により、このポジショナーは最大10個まで使用できます-6ヘクトパスカル。

■高真空でのアプリケーション向けの高品質

この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊なコンポーネントが使用されます。さらに、表面はコーティングされていないアルミニウムでできており、スピンドルとガイドはステンレス鋼で作られています。これにより、PI V7真空クラスに到達し、最大10-7ヘクトパスカル。

■超高真空の特殊要件に対応する最高品質

この真空クラスでは、PI V9真空クラスを最大10まで到達するために、超高真空に適したコンポーネントにより、製品は細部まで最適化されています-9ヘクトパスカル。とりわけ、選択された種類のプラスチックのみがこの目的のために使用され、測定システムなしでそれぞれ120℃、測定システムなしで150℃のベークアウト温度が適用されます。

■利用可能なモータータイプ

低モーター出力での高トルクと分解能のためのギアヘッド付きDCモーター、10まで-6ヘクトパスカル 低速および高分解能用の2相ステッピングモーター、10まで-9ヘクトパスカル

■位置測定の種類

エンコーダなし (オープンループ) モーターシャフトに統合されたロータリーエンコーダー

■応用分野

真空チャンバー。研究。ビームライン計装顕微鏡。電子機器の組み立てと検査。

■製品特徴

・最大10個の真空対応-9ヘクトパスカル ・移動範囲は26〜102mm (1インチ〜4インチ) ・0.1μmまでの繰り返し精度 ・DCギアモーター、ステッピングモーター ・方向感知用基準スイッチ ・多軸セットアップが可能 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の最小増分モーション (μm) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) Xの保持力、パッシブ (N) 質量を単位で移動し、無負荷 (g) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 許容トルク (θx) (N·m) 許容トルク (θY) (N·m) 許容トルク (θZ) (N·m)
コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.021100V6

L-509.021100V6

要見積もり

x

26

10

±2

±2

±60

±60

0.3

0.1

分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

24

48

60

60

3.3

2.8

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

50

220

50

100

30

25

20

1,400

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.031100V6

L-509.031100V6

要見積もり

x

52

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±4

±4

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0.3

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分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

24

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3.3

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クロスローラーガイド

ボールねじ

1

50

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50

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.051100V6

L-509.051100V6

要見積もり

x

102

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±8

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0.3

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分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

24

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3.3

2.8

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.024132V6

L-509.024132V6

要見積もり

x

26

1.5

±2

±2

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0.1

0.1

分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN

直流ギアモーター

-

12

-

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4.09

0.18

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

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25

20

1,100

インクリメンタルロータリエンコーダ

A/B直交、RS-422

1.68

コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.034132V6

L-509.034132V6

要見積もり

x

52

1.5

±4

±4

±90

±90

0.1

0.1

分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN

直流ギアモーター

-

12

-

60

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4.09

0.18

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

50

220

50

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インクリメンタルロータリエンコーダ

A/B直交、RS-422

1.68

コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.054132V6

L-509.054132V6

要見積もり

x

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±8

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±120

0.1

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分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN

直流ギアモーター

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0.18

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

50

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50

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インクリメンタルロータリエンコーダ

A/B直交、RS-422

1.68

コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.021300V7

L-509.021300V7

要見積もり

x

26

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±2

±2

±60

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0.3

0.1

メカニカル

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

24

48

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60

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3

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

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220

50

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1,,000

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.031300V7

L-509.031300V7

要見積もり

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メカニカル

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

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クロスローラーガイド

ボールねじ

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.051300V7

L-509.051300V7

要見積もり

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メカニカル

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

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クロスローラーガイド

ボールねじ

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.021311V7

L-509.021311V7

要見積もり

x

26

10

±2

±2

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±60

0.3

0.1

メカニカル

2相ステッピングモーター

200フルステップ/リビジョン

24

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60

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1.7

3

クロスローラーガイド

ボールねじ

1

50

220

50

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20

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インクリメンタルロータリエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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