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L-310 V6 真空精密Zステージ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (mm) | Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s) | 平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm) | 真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) | ピッチ(θY単位回転クロストークとZ単位運動) (µrad) | 統合センサー | Z単位の一方向再現性 (µm) | Zでの双方向再現性 (µm) | Z単位の最小増分モーション (µm) | センサー信号 | センサー信号周期 (µm) | 基準スイッチ | 基準スイッチの再現性 | リミットスイッチ | ドライブの種類 | モーター分解能 | 公称電圧 (V) | ピーク電圧 (V) | Z単位の負の運動方向への駆動力 (N) | Z単位の正の運動方向への駆動力 (N) | ガイド | 駆動ネジ式 | 駆動ネジピッチ (mm) | Zの保持力、パッシブ (N) | 質量をZ単位で移動し、無負荷 (g) | Xでの許容力押し力 (N) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
L-310.021211V6 |
要見積もり |
z |
26 |
7.5 |
±3 |
±3 |
±150 |
±150 |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
0.1 |
±0.2 |
0.05 |
Sin/cos、1Vピークピーク |
20 |
ホール効果、N/C接点、5V、NPN |
2 |
ホール効果、N/C接点、5V、NPN |
2相ステッピングモーター |
200フルステップ/リビジョン |
24 |
48 |
55 |
55 |
クロスローラーガイド |
ボールねじ |
1 |
50 |
900 |
100 |
50 |
55 |
