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L-310 V6 真空精密Zステージ取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (mm) | Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s) | 平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm) | 真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) | ピッチ(θY単位回転クロストークとZ単位運動) (µrad) | 統合センサー | Z単位の一方向再現性 (µm) | Zでの双方向再現性 (µm) | Z単位の最小増分モーション (µm) | センサー信号 | センサー信号周期 (µm) | 基準スイッチ | 基準スイッチの再現性 | リミットスイッチ | ドライブの種類 | モーター分解能 | 公称電圧 (V) | ピーク電圧 (V) | Z単位の負の運動方向への駆動力 (N) | Z単位の正の運動方向への駆動力 (N) | ガイド | 駆動ネジ式 | 駆動ネジピッチ (mm) | Zの保持力、パッシブ (N) | 質量をZ単位で移動し、無負荷 (g) | Xでの許容力押し力 (N) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) |
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L-310.021211V6 |
要見積もり | z | 26 | 7.5 | ±3 | ±3 | ±150 | ±150 | インクリメンタルリニアエンコーダ | 0.1 | ±0.2 | 0.05 | Sin/cos、1Vピークピーク | 20 | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2 | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2相ステッピングモーター | 200フルステップ/リビジョン | 24 | 48 | 55 | 55 | クロスローラーガイド | ボールねじ | 1 | 50 | 900 | 100 | 50 | 55 |