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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-A-110.050A1
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■製品特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm ・400mmまでの移動範囲 ・100Nまでの負荷容量

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動できます。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポートします。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダーエンコーダーエンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・XYセットアップと個々の構成 ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • シリーズ

    A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ

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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ 品番10件

フィルター

次の条件に該当する商品を10件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の加速、無負荷 (m/s²) Xにおける双方向の再現性 (μm) X 方向の位置決め精度、校正済み (μm) ドライブタイプ 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V)
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.050A1

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インクリメンタルリニアエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

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エンコーダインデックス

ホール効果

アイアンレス3相リニアモーター

48

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アブソリュートリニアエンコーダ

バイSS-C

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アイアンレス3相リニアモーター

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アイアンレス3相リニアモーター

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インクリメンタルリニアエンコーダ

Sin/cos、1Vピークピーク

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アイアンレス3相リニアモーター

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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.400B1

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アブソリュートリニアエンコーダ

バイSS-C

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アイアンレス3相リニアモーター

48

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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