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クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ-AST-LAOD-12N
クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ-オングストロームテクノロジー株式会社

クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ
オングストロームテクノロジー株式会社



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この製品について

■特徴

・荷重フィードバック制御 ・最大発生力 : 12N ・分解能 : 1mN ・応答性 : 30msec程度 ・用途 : チップマウンター、プローブ制御、フロー制御、精密加工等

  • シリーズ

    クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ

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クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大発生力 分解能 剛性 センサー 共振周波数 使用環境 温度 使用環境 真空度
クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ-品番-AST-LAOD-12N

AST-LAOD-12N

要見積もり

12N

< 1mN

0.06N / μm

歪みゲージ

> 120H

-10℃ ~ +80℃
但し結露なきこと

10-4Pa

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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