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自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA-ZONDA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA-オーテックス株式会社

自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
オーテックス株式会社

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■高耐荷重高精度ヘキサポッドステージZONDA

ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能6DOFシステムです。 最大400kgのペイロードをわずか0.1µmの分解能で位置決めできるように設計されたZONDAヘキサポッドは、XYで400mm、Zで300mm、およびRx、Ry、Rzの3つの回転で40°の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニアアブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。

  • シリーズ

    自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA

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自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) XYストローク Zストローク チルト 回転 (ZΘ) 繰り返し精度 (XYZ) 繰り返し精度 (Rx, Ry, Rz) サイズ 耐荷重
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA-品番-ZONDA

ZONDA

要見積もり

±50mm/±200mm (長ストロークモデル)

±25mm/±150mm (長ストロークモデル)

<±10°/±20° (長ストロークモデル)

±20°

±0.25μm

±2.5μrad/±1μrad (長ストロークモデル)

φ320mm 高さ (Z中間地点) 360mm/φ720mm 高さ (Z中間地点) 640mm (長ストロークモデル)

400kg

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特殊機能: 高耐荷重型

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

オーテックス株式会社は、レーザー機器や電気機器、電子機器、光学機器などの各種機器並びにその応用装置と、部品の製造販売、輸出入業務を行っている会社です。 医療・理化学機器や、接着剤、接着テープ、接着シート等の機器も取り扱っ...

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