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マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ-KX-125
マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ-株式会社KUGE

マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ
株式会社KUGE



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この製品について

■概要

・精密クロスローラーと精密ボールネジを使いマイクロステップにも対応 ・ステンレス構造にし、高剛性で熱膨張を少なくしたステージです 特徴

■マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ

直動ステージの使用例として、直動ステージ上部には複数の回転ステージや評価サンプルの取り付け機構部などが付き、直動ステージ (X,Y,Z) ステージから評価サンプルまでの距離は離れ重量も重くなる事が多いです。その為、ステージカタログの使用環境からは外れてしまい、装置設計者の考えと違った装置性能になってしまった経験をされた設計者も多いと思います。 KUGEはそんな経験から自動ステージのフレームをアルミニュームフレームで無く、ステンレスフレームの高剛性SUSステージを開発いたしました。組み上がった装置の評価サンプル位置での、繰返し位置決め・微小なゆれ・バックラッシュなどを最小限にいたします。

  • シリーズ

    マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ

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マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) テーブルサイズ 案内方式 駆動モータ 移動量 送りネジ 分解能 繰り返し位置決め精度 バック・ラッシュ ロストモーション 真直度 最高速度 質量
マイクロステップ対応 高性能・高剛性SUSステージ-品番-KX-125

KX-125

要見積もり

125mm×125mm

精密クロスローラ・ガイド

5相ステッピングモータ 0.75A/相

±25mm

ボールネジφ6 リード1

1μm/pulse (Half step)

±0.3μm

1μm

1μm

1μm/10mm

10mm/Sec

2.0kg

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 神奈川県
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