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半導体故障解析装置 超高感度エミッション・マイクロスコープ emmi-emmi
半導体故障解析装置 超高感度エミッション・マイクロスコープ emmi-日本バーンズ株式会社

半導体故障解析装置 超高感度エミッション・マイクロスコープ emmi
日本バーンズ株式会社



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この製品について

■製品概要

エミッション・マイクロスコープは、微弱リークのような故障位置を正確に特定でき、半導体デバイスの信頼性向上に大きく貢献します。 emmi シリーズは、リーク、ESD破壊、ホットキャリア、ラッチアップ、酸化膜不良等の半導体デバイス内で起こるさまざまな不良によって生じる極微弱発光を検出し、その位置を正確に特定することができます。 回路上の欠陥位置からの極微弱な発光 (フォトンの放出) を検出できるため、「低電圧/低電流」で不良を検出することができます (100 pA / μm^2 以下の検出感度;GEN IV カメラ使用時) メインカメラ (検出素子) の選択により「超高感度」「裏面解析」などさまざまな解析手法に対応することができます。テスターとのダイレクトドッキングによる計測も可能です。

  • シリーズ

    半導体故障解析装置 超高感度エミッション・マイクロスコープ emmi

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半導体故障解析装置 超高感度エミッション・マイクロスコープ emmi 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
半導体故障解析装置 超高感度エミッション・マイクロスコープ emmi-品番-emmi

emmi

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使用用途

#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査

検査対象

ウエハ検査装置 チップ検査装置 パッケージ検査装置

検査方式

光学式検査装置 電気式検査装置

検出精度

マクロ検査装置 ミクロ検査装置 ナノスケール検査装置 自動検査装置

搬送方式

ステージ式検査装置 トレイ式検査装置 ローダアンローダ式検査装置

処理能力 秒/個

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50

供給方式

トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダ

コンタクト

テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本バーンズ株式会社は、高精度超音波顕微鏡、半導体故障解析装置といった電子・光学機器や、赤外線カメラ、赤外線基準黒体炉、非接触式歪み計測システムといった計測システムの輸入販売をしている会社です。 1969年に創業してア...

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  • 本社所在地: 東京都

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