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ピエゾステージ Z軸 開口モデル-PKVH60-012U
ピエゾステージ Z軸 開口モデル-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ Z軸 開口モデル
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

移動テーブル中央に開口 (透過穴) を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡、分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

■コンパクトから大開口まで

小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

■スムーズで精確なスキャニング

高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

■製品応用例

・走査型プローブ顕微鏡 ・顕微鏡試料テーブル ・分光分析機器 ・半導体、FPD関連装置 ・露光装置 ・マッピング測定

  • シリーズ

    ピエゾステージ Z軸 開口モデル

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ピエゾステージ Z軸 開口モデル 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 分解能 繰り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 ピッチング ヨーイング ローリング 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ Z軸 開口モデル-品番-PKVH60-012U

PKVH60-012U

要見積もり

・クローズ時 12μm
・オープン時 16μm

1nm

±1nm

10N

・0g負荷時 2,500Hz
・100g負荷時 1,400Hz

1"/1"/1"

静電容量式変位センサ

0.1%

2.8μF

0.02μm/N

・質量 250g
・材質 アルミ
・表面処理 黒アルマイト

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

構造

単一軸ステージ 複数軸ステージ ガイドレール型

用途

高精度測定用 表面加工用 ラボ実験用 光学調整用

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都
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