ピエゾステージ X軸開口モデル
THKプレシジョン株式会社

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この製品について

移動テーブル中央に開口 (透過穴) を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡、分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

■コンパクトから大開口まで小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

■スムーズで精確なスキャニング高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

■製品応用例・走査型プローブ顕微鏡
・顕微鏡試料テーブル
・分光分析機器
・半導体、FPD関連装置
・露光装置
・マッピング測定

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ピエゾステージ X軸開口モデル

取扱企業
THKプレシジョン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

1軸ステージ

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ピエゾステージ X軸開口モデル品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ストローク	耐荷重	共振周波数	ピッチングヨーイングローリング	圧電素子静電容量	本体
	PK1L40-020U-N	要見積もり	オープン時 25μm	5N	・0g負荷時 6,600Hz ・100g負荷時 2,000Hz	1"/1"/1"	2.15μF	・質量 60g ・材質アルミ・表面処理黒アルマイト