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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ-A4Xシリーズ
ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ-フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■アプリケーション

・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED

■特長

A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループットと改善された粉体耐性を備えており、半導体およびコーティング産業における要求の厳しいプロセスに最適です。 副産物の蓄積や亀裂を防ぐために、低温および高温の動作温度をカバーする温度管理機能が装備されています。ポンプは、Semi S2およびUL61010規格に準拠しています。 エネルギー効率の高い多段ルーツ技術と高効率モーターにより、A4シリーズは、プロセス操作での省電力を実現しています。アイドルモード機能と回転速度調整機能と組み合わせることで、運用コストの削減にも寄与します

  • シリーズ

    ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ

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フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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