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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ-A4Xシリーズ
ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ-フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■アプリケーション

・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED

■特長

A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループットと改善された粉体耐性を備えており、半導体およびコーティング産業における要求の厳しいプロセスに最適です。 副産物の蓄積や亀裂を防ぐために、低温および高温の動作温度をカバーする温度管理機能が装備されています。ポンプは、Semi S2およびUL61010規格に準拠しています。 エネルギー効率の高い多段ルーツ技術と高効率モーターにより、A4シリーズは、プロセス操作での省電力を実現しています。アイドルモード機能と回転速度調整機能と組み合わせることで、運用コストの削減にも寄与します

  • シリーズ

    ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ

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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ 品番1件

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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications A4Xシリーズ-品番-A4Xシリーズ

A4Xシリーズ

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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