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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ-ADHシリーズ
ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ-フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ
フジ・インバック株式会社

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■アプリケーション

・ALD ・エピタキシャル成長 ・EUV ・太陽光発電 (a-Si、µSi PECVD等) ・LED (MOCVD GaN等)

■特長

ADH シリーズの最大の利点の1つは、水素排気速度が速いことです。これにより、プロセスステップ間のチャンバー排気が高速になります。 許容流量が大きいため、ADHポンプは最も要求の厳しいプロセス仕様に適しています。 最適化された設計のおかげで、ポンプはこのレベルのポンプ性能で市場で最高の消費電力を提供します。 ポンプには、二重の温度制御水冷回路と統合されたホットN2パージが装備されており、粉体の蓄積や凝縮を防ぎます。また 強力なモーターは大量の粉体を許容することができ、優れた再起動能力を有しています。 ADH シリーズの専用設計と材質によって、ポンプ内部の大きな内圧応力を処理することができ、水素やシランなどの爆発性ガスを使用する用途で最高レベルの安全性が確保されています。

  • シリーズ

    ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ

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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ 品番1件

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ADHシリーズ

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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