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ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ-ADHシリーズ
ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ-フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■アプリケーション

・ALD ・エピタキシャル成長 ・EUV ・太陽光発電 (a-Si、µSi PECVD等) ・LED (MOCVD GaN等)

■特長

ADH シリーズの最大の利点の1つは、水素排気速度が速いことです。これにより、プロセスステップ間のチャンバー排気が高速になります。 許容流量が大きいため、ADHポンプは最も要求の厳しいプロセス仕様に適しています。 最適化された設計のおかげで、ポンプはこのレベルのポンプ性能で市場で最高の消費電力を提供します。 ポンプには、二重の温度制御水冷回路と統合されたホットN2パージが装備されており、粉体の蓄積や凝縮を防ぎます。また 強力なモーターは大量の粉体を許容することができ、優れた再起動能力を有しています。 ADH シリーズの専用設計と材質によって、ポンプ内部の大きな内圧応力を処理することができ、水素やシランなどの爆発性ガスを使用する用途で最高レベルの安全性が確保されています。

  • シリーズ

    ドライポンプ (多段ルーツ型) Harsh Duty Applications ADHシリーズ

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フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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