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ドライポンプ (多段ルーツ型) Medium Corrosive Applications A3Pシリーズ-A3Pシリーズ
ドライポンプ (多段ルーツ型) Medium Corrosive Applications A3Pシリーズ-フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Medium Corrosive Applications A3Pシリーズ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■アプリケーション

・エッチング ・インプラント ・PVD

■特長

A3P シリーズのドライポンプは、内部は腐食性ガスに強い構造となっており、温度センサーと不活性ガスフラッシングを備えています。中負荷プロセスで高い信頼性を持ちながら、低ノイズ・低振動という特徴を有しています。またCEおよびSemi S2規格に準拠し、クリーンルームでの使用に適しています。

  • シリーズ

    ドライポンプ (多段ルーツ型) Medium Corrosive Applications A3Pシリーズ

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フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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