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ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications コンパクト A100L / A200L-A100L
ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications コンパクト A100L / A200L-フジ・インバック株式会社

ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications コンパクト A100L / A200L
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■アプリケーション

・ロードロックチャンバー ・トランスファーチャンバー ・半導体製造

■特長

ツールまたは工場のサブフロアに直接設置するように設計されたA100L/A200Lシリーズのドライポンプは、頻繁な高速ポンプダウンサイクルを可能にします。ロードロックおよびトランスファーチャンバー用途だけでなく、その他の非腐食性アプリケーションに最適です。200 m3/h クラスの A200Lと100 m3/h クラスのA100Lをラインナップし、あらゆるタイプのハイスループットアプリケーションに対応します。

  • シリーズ

    ドライポンプ (多段ルーツ型) Light Duty Applications コンパクト A100L / A200L

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この商品の取り扱い会社情報

フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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