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ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ-HiPace® 300M
ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ-フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ
フジ・インバック株式会社



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この製品について

■アプリケーション

・ハイエンド電子顕微鏡 ・残留ガス分析 ・光学コーティング ・プラズマ研究 ・バイオテクノロジー ・医療技術 ・半導体応用 ・薄膜技術 ・ハードディスク製造

■特長

HiPace Mシリーズのターボポンプは、5軸の磁気浮上式サスペンションを搭載しています。高真空用途に設計されているため、複合ローターが使用されており、オイルフリーの磁気浮上式により、メンテナンスの必要性やコンタミの可能性がほぼ排除されます。 振動に敏感なアプリケーションに対しても、HiPace Mは振動と漏洩磁場が極めて低くなっています。停電時には、ターボポンプに取り付けられたコントローラーが、ポンプモーターを発電機として使用し、ローターを安定した状態で保ちます。

  • シリーズ

    ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ

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ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ 品番1件

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ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) HiPace Mシリーズ-品番-HiPace® 300M

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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